非接触光学3D坐标测量仪.PDF

非接触光学3D 坐标测量仪 工艺过程控制测量 质检的最佳解决方案 精度可追述至美国国家标准技术研究所NIST 标准！ 岱美中国（D y m e k C h i n a ） 岱美有限公司成立于1989 年，总部位于 View Micro-Metrology(ViewMM)专业生产适合过程控制测量应用的全自动非接触光学三维坐标影像 测量仪和超高精度显微测量系统，隶属于全球最大的可视测量集团QVI 旗下。其高精度、高速度以及高 中国香港，在上海，东莞及北京均设有 重复性的特性，受到60 多个国家包括半导体封装工艺尺寸检测、微电子制造组装、精密复杂机械工件 分公司，是一家拥有多年经验的国际性 测量以及光纤等关键工艺过程尺寸控制测量和质检测量的青睐！ 高科技设备分销商；主要为半导体、 MEMs 、光通讯、数据存储、高校及研 技术参数： Benchmark250 - 测量范围(XYZ) : 300× 150× 150mm 发中心提供各类测量设备、工序设备和 - DSP 电机加速控制器 解决方案；拥有 80 多名训练有素的工 - 0.1μm 光栅尺分辨率 程师，能为各地区用户作出快捷可靠的 - 测量精度(20℃)： E2(XY)=(2.5+5L/1000)μm, 技术支持和维修服务。 E1(Z)=(2.5+4L/1000)μm, L 测量长度 - X-Y 轴运行速度：150mm/s, Z 轴速度100mm/s 主要销售或提供技术支持的产品 - 百万像素黑白数字CCD 晶圆键合设备、纳米压印设备、紫外光 - 可编程控制LED 亮度的同轴光和背光光源 - 双倍光学系统。1.0x 物镜(放大倍数1.0x 及4.0x) 刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄 晶圆处理设备、压力计、流量计、残余 气体分析仪、远程等离子体源、光学轮 产品优势和特点： 廓投影仪、全自动非接触式光学三坐标  高精度、高速度高重复性测量 影像测量仪、三维X 射线系统、电容式 位移传感器、振动样品磁强计 (VSM)、  智能人性化的Joystick 操作手柄控制 粗糙度检测仪、薄膜厚度检测仪、电镜 超稳定的花岗岩铸铁基底 (SEM)、透镜 (TEM)、能谱系统 (EDS)、 专利固定双倍率放大光学系统设计 原子力显微镜 (AFM)、防振台系统、三 基于Windows 的开放灵活的、可编程操作环境 维原子探针材料分析仪 (Atom Probe)、 可编程控制光强和方向的环形彩色高亮度LED 光源 激光干涉仪、平面／球面大口径动态激  多种可选的激光探针，加快测量速度和重复性 光干涉仪、氦质谱检漏仪、紫外线固化 局部多点聚焦测量AMF 技术，构造3D 图像 仪、碳纳米管生长设备等。