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2017-06-11 发布于江西
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硅片各种不良

缺口：≥0.3*0.3μm 崩边：硅片边缘非有意地造成脱落材料的区域，规格：个数≤2个，深度≤03.mm，长度≤0.5mm 翘曲度：弯曲度:规格≤75um 台阶片：线痕：规格≤20um 亮线：只考虑亮线的粗糙度，不考虑条数。规格≤15um 凹痕：规格≤15um 针孔：裂纹：延伸到硅片表面或许没贯穿硅片的整个厚度。易造成碎片。各种污片：微晶： 1cm单位长度上个数10个,且总面积≦2cm2 * *