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CMP洁净型无杆气缸CYP
光掩膜形成 离子注入 涂膜处理 曝 光 刻 蚀 氧 化 CMP 搬 送 Best 洁净型无杆气缸 CYP 系列 Pneumatics ø15、ø32 低发尘 (与12-CY1B比),不用真空抽吸,发尘量降至 1/20, 缸筒外表面为非接触构造,不锈钢制直线导轨 (特殊处理), 可实现高洁净度。 正弦式缓冲 型号表示方法 CYP 15 200 Z73 磁性开关个数 洁净型无杆气缸 无记号 2个 S 1个 n n个 缸径 15 15mm 32 32mm 磁性开关型号 无记号 无磁性开关 ※磁性开关型号参见下表。 标准行程 缸径(mm) 标准行程 (mm) 配管通口位置 100, 150, 200, 250, 300, 350 • a 动作方向 右 15 32 400, 450, 500, 600, 700 无记号 b 动作方向 左 注1)超过最大行程需确认。 c 动作方向 右 注2) 中间行程为特注品。 L d 动作方向 左 e 动作方向 右
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