MEMS硅电容压力传感器及其应用.pdf

MEMS硅电容压力传感器及其应用 目录 1 公司介绍 2 MEMS硅电容压力传感器及其结构 3 MEMS硅电容压力传感器封装过程 4 MEMS硅电容压力传感器性能 5 MEMS硅电容压力传感器应用 辰坤科技，感知中国，感知世界 1.公司介绍企业基本情况 科研实力 辰坤集团 山东辰坤集团有限公司 公司与芬兰VTI开展深入 公司研发团队中博士6人， 公司与中电科，山东大 丏业从事MEMS硅电 合作，引进3D-MEMS 高级工程师18人。拥有 学，南京航空航天大学 容智能传感器、及变送 技术和硅电容传感器生 省级研发中心一个，自 等科研院所展开深入合 器仪器仪表的研发、设 产线，并对其进行了消 主知识产权和丏利10余 作，不断完善产品系， 计与制造。总资产6亿 化吸收和在创新，代表 项，传感器产业被列为 开拓新的应用领域 元，占地1200亩。 了传感器应用领域最先 国家战略信息型产业。 进技术水平。 辰坤科技，感知中国，感知世界 1.公司介绍 企业文化 企业宗旨：以科技为动力、以质量求生存 发展理念：诚信、精一、圆融 企业愿景：做拥有自主核心技术的全球MEMS传感器供应商 企业梦想：辰坤科技，感知中国，感知世界 辰坤科技，感知中国，感知世界 2.MEMS硅电容压力传感器及其结构 硅电容传感器产品系列： SHR1000, 1.2bar SHR8000, 8bar Type Pressure Component Pressure Component Measuring range 30kPa-120kPa 100kPa-800kPa Interface 2 2 SPI/I C SPI/I C 辰坤科技，感知中国，感知世界 2.MEMS硅电容压力传感器及其结构 传感器由三部分组成: 1) 基于3D-MEMS技术的压力传感元件 2) 专用混合信号处理ASIC 3) LDS-MID外壳 辰坤科技，感知中国，感知世界 2.MEMS硅电容压力传感器及其结构 电容测量原理： 1）压力使