LPEn_GaAlAs_Te中DX中心的导纳谱分析.pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 目 , , 一, 卜 年 月 压 凡还 一 中 中心 的导纳谱分析 葛 惟 馄 吴 荣 汉 中国科学院半 导体研 究所 年 月 日收到 在测量较深能级和最浅能级两种情况时 , 导纳谱 得到的速率值具有完全不 同的含 , , , ‘ ‘ 义 对于前者 昭 和 结果一致 给 出能级的热发射深度 ‘ 对于后者 和 目 , ‘ 。 , 结果一致 给出能级的热平衡深度 乓 当深 中心的晶格弛豫很大时 这种区分十分重要 用 人 和 技术测 了 法生 长的 。一 。 , 。 , 中的具有复杂性质的 中 , , 。 , 。 心 可 以分辨两个能级 “ 分别 为一 。 和 。 “ 分别约为 。 和 ‘ 导纳谱 是 比 电容瞬 态 谱 更先 , ,