一章 真空技术基础ppt.pptVIP

;一、真空的基本知识;b 单位面积上分子与固体表面碰撞的频率小;c 气体分子密度低;e 改变反应进程;（1）产生压力差以完成某些过程 （2）降低某些过程发生所需要的能量势垒，如 凝聚或蒸发过程 （3）隔热 （4）产生干净表面，表面过程，可控薄膜沉积、 wafer bonding （5）净化腔体(气体、灰尘) （6）真空干燥 （7）提高分子运动平均自由程;4. 真空度的单位;真空区域划分为：粗真空、低真空、高真空、 超高真空和极高真空 粗真空 低真空 高真空 超高真空 极高真空 ;5. 固体对气体的吸附及气体的脱附;二、真空的获得;旋片式机械泵; 旋片式机械泵工作示意图;罗茨泵(Roots pump);特点： 1. 加热油从喷嘴高速喷出，气体分子与油分子碰撞实现动量转移，向出气口运动，或溶入油中，油冷凝后，重新加热时，排出溶入的气体，并由出气口抽出； 2. 需要水冷，前级泵 3. 10-3 to 10-7 Torr (to 10-9 Torr，液氮冷阱); 涡轮分子泵;复合分子泵;特点： 1.利用20K以下的低温表面来凝聚气体分子实现抽气，是目前最高极限真空的抽气泵； 2.可对各种气体捕集，凝结在冷凝板上，所以工作一段时间后必须对冷凝板加热“再生”； 3. “再生”必须彻底； 4. 加热“再生”温度 200 °C 烘烤除去吸附的气体 5. 无油污染； 6. 制冷机式低温泵运作成本低，较常采用。; 离子泵;离子泵;钛升华泵;三、真空测量;低真空测量： 热偶真空计 Thermocouple Gauge;低真空测量：皮拉尼规 Pirani Gauge;高真空测量：电离规(Ion Gauge);电离规(Ion Gauge);四、真空系统; Outgassing rates （除气速率） Producing “virtual” leaks （产生气体虚漏） Mechanical stability（机械稳定性） Temperature stability（温度稳定性） Conductivity（热导率） Chemical inertness（化学惰性） Weldability（可焊接性）;2. 常用真空材料;抽速： S = Q/P;抽气公式：