退火对电子束热蒸发Al2O3薄膜性能影响的实验研究.pdfVIP

第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ! ! # $%’!(%’# ! ! ! 年 月 ! )**+ # ,-., /0123 45623 5(7 /538-942 :25;6 5 =’)**+ ! ! 文章编号! # !**!#?)) )**+*#*+!!*# ! 退火对电子束热蒸发!$ 薄膜 # % 性能影响的实验研究 尚淑珍! 廖春艳! 易 葵! 张东平! 范正修! 邵建达 ! ! ! ! ! ! 中国科学院 上海光学精密机械研究所 光学薄膜技术与研究发展中心!上海 # )*!@** 摘 要! 用电子束热蒸发方法镀制了50 材料的单层膜!对它们在空气中进行了)+* #**A 的高温 ! ! ! ! ) ? ! 退火$对样品的透射率光谱曲线进行了测量!计算了样品的消光系数%折射率和截止波长$通过 射线衍射 B 仪 #测量分析了薄膜的微观结构!采用表面轮廓仪测量了样品的表面均方根粗糙度$结果发现随着退火 B37 温度的提高光学损耗下降!薄膜结构在退火温度为#**A时仍然为无定形态!样品的表面粗糙度随退火温度的 升高而增加$引起光学损耗下降起主导作用的是吸收而不是散射!吸收损耗的下降主要是由于退火使材料吸 收空气中的氧而进一步氧化!从而使薄膜材料的非化学计量比趋于正常$ 关键词! 紫外 退火 微结构 光学损耗 吸收 ! ! ! ! ! ! ! 中图分类号! 0#@#’# 文献标识码! 5 ! ! ! ! ! ! ! ! 由于半导体工业和激光材料加工工业的发展!使得对应用于紫外波段尤其是远紫外 真空紫外 7C$ !! #波段的优质高能准分子激光光学元件的需求急剧上升$而这些元件多数需镀膜后使用!因此紫外波段 $C$ 薄膜元件性能的优化提高面临着新的挑战$光学损耗吸收和散射损耗#的存在是影响多层高反射介质膜性能 ’ !( ! ) 的关键因素!使之降低的主要方法是镀膜材料的选择和镀膜工艺的优化 $ 在 波段甚至在低于 的波段! 材料作为一种最常用的高折射率材料广泛应用于多层介 7C$