碳氟等离子体改性PET表面的反应机制的研究_张亮.pdfVIP

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2017-06-01 发布于浙江
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碳氟等离子体改性PET表面的反应机制的研究_张亮

Vol. 19 高等学校化学学报 No. 11 1 9 9 8 11 CHEMICAL JOURNAL OF CHINESE UNIVERSIT IES PET * 张　亮樊孝平 (, ( , , 100871) , , 124021) 王建祺 (, , 100081) CF CH /CF (PET ) , 4 4 4 . ( ) PET X XPS PET . , PET . , , PET ; CF4 , PET . , XPS, , , , O647. 1 . 30 , . , [ 13] . , [ 1, 3] , , , . PET . ; , [4] , .PET , PET , , XPS PET . 1 1. 1 ( CH4) : 99.99%() , (CF4) : 99. 9%( ) . (PET) : , 0. 1 . 6 c 6 c PET 34 h, , , ; 34 h, . , XPS , . : 1997-11-26. : , , 35 , . * . 1854 高等学校化学学报　　　　　　　　　　　　　　Vol. 19 1. 2 GPP-1( ) . JG-C-300 , 13.56 MHz.D08-2A/ZM () . -82 () , 0.5. JY (Sessile drop). XPS PHI 5300 X ( Perkin-El er ) , ( 1486.6 ) , 250 ( 12.5 20 ) , 35.75 , Al K eV W kV A eV 10- 7 , 104590( Pa X ) Apollo Series 3500 . PET (6 c 6 c ) , 3. 0 Pa, , . XPS PET . 2 2. 1PET 1PET . 4 , CF , , PET . . ( 4) CF , CF ; 4 ( CH ) , HF , Fig.1Plot of deposition rate vs. molar ratio x ( = 13) , CF x in CH4 CF4 feed/ [5] . 60 W, 0. 1GJ/ kg, 10 in.