直拉单晶炉循环冷却水水质控制.pdfVIP

四 川有 色金属 》 直拉单 晶炉循环冷却水水质控制 万 金 平 梁 开 金 、 山 峨眉半导体材料厂 所 峨嵋 市 绍 了 炉 , 响 【摘 要 本文介 直拉单晶 循 环 冷却水 系统 对 影 循 环 冷 却水水质 的 因素进行 了分析, 论述 了控 制循 环 水质 的一 种 方 法 , 并对控 制 效 果进 行 了说 明。 【关键词 】直拉单 晶炉 循环冷却 水质控制 过滤 净化 水冷却系统 , 作 为停 电等不 能供给 循环 水 直拉单 晶炉冷却水要求 。 时应 急使用 整个 系统分 为循环冷却水供 、 硅单 晶车 间现 有 台 型 台 给部分、 循环水冷却降温部分 、 循环 水补给 , 一 型 直 拉单 品炉 它们 对 冷 部分 以及控制循环 水质 的循环 冷却水过滤 却水 的要求 为 净化部分 四个子 系统 。 · 流量 妻 米 台 时 压力 一 水质 一 硬度 簇 以 计 一 镇 月 以 环 , 压 。 软水循 供水为好 无 排水 根据设备 的要 求 , 以 及 防止 冷 却 部 位 结垢和腐蚀 的 目的, 硅 单 晶车 间直拉炉 冷 却水 系统采 用软水循环 , 水质控制标准 为 卜