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2017-06-01 发布于浙江
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生产IGBT的一种工艺_三重扩散

第卷第期固体电子学研究与进展 , , 年月生产的一种工艺三重扩散 — ‘ 李如春去非启秀陈陈江学器 , 州 , 浙大功率件研究所杭 , 。一一收稿一一收改稿根目国导现 , 了方三重扩提要据前内半体工艺水平的状提出一种制作的工艺法 — , 着用器拟 , 理论上和实了压器上散法并重件模的方法从分析证三重扩散法在高件制作的优。和行 , 用实验证正点可性并结果验其确性关键词三盆扩散器件模拟中图分类号