抛光液pH值对玻璃超光滑表面完整性影响.pdfVIP

维普资讯 抛光液pH 值对玻璃超 光滑表面完整性影响* 贾世奎 ，李成贵 ，熊 昌友 ，张庆荣 (1．北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院，北京 100083；2．北京长城计量测试技术研 究所，北京 100095) 摘 要 ：为研 究抛光液的pH值在精密抛光加工过程 中对表面完整性的影响 ，选取 K9玻璃为试件材 料，用浮法抛光加工成超光滑表面，使用相 同浓度的氢氟酸和氢氧化钠溶液对 2个试件进行腐蚀 ，用原子 力显微镜、扫描 电镜和纳米硬度计测量作 用不 同时间段 的表 面质量 ，通过对 比分析各作用时间段 2个试 件的表面粗糙度 、表面形貌和表层硬度的相似和差异 ，研 究了pH值对超光滑表面完整性的影响 ，得 出在 玻璃工件抛光加工中，抛光液为微碱环境有利于提高加工效率和得到高质量的超光滑表面。 关键词 ：抛光；pH值 ；表面完整性 ；粗糙度 ；硬度 中图分类号 ：TH 161．14 文献标志码 ：A 超光滑表面的加工技术 已经成为现代加工技术 用的能力等 。其 中，抛光液 的pH 值在表面完整性 研究的热点之一。能获得超光滑表面的方法有弹性 中起到关键作用 ，如对工件的表面形貌 、粗糙度 、表 发射加工 、浮动抛光、磁力研磨抛光 、化学抛光 、超声 面纳米硬度等的影响 。本文即是针对抛光液 pH值 抛光以及离子束抛光等 ，由此可知 ，抛光是得 到 对表面完整性影响做 了研究，通过观察不 同pH值 超光滑表面的重要的加工方法。目前学术界对抛光 下对 K9玻璃 的腐蚀情况 ，对 比分析腐蚀前后 的表 机理的研究主要存在 3种学说 J，即机械学说、流变 面粗糙度、表面形貌 、硬度 的变化 ，提 出了容易得 到 学说和机械化学学说。其中机械化学学说是一种被 完整的超光滑表面的抛光液 pH值参数。 人们普遍认可 的抛光技术 ，主要是 由抛光盘、抛光 1 试验设备条件 液 、温度、加工件的材料等综合作用的结果 ，即有机 械 、化学和物理 的作用。 试件 材料 选 取 K9 浮动抛光 (floatpolishing) 因其工艺简单且 玻璃 ，采用某精密研究 易得到高质量的超光滑表面而得到广泛的应用 。浮 所的CJY500型超精密 动抛光中，工件表面完整性受很多因素的制约 ，包括 抛光机进行浮动抛光加 上下盘转速、锡盘 的平面度 、锡盘螺纹槽 的螺距 、加 工 ，得 到 2件符合要求 工温度、抛光剂 的粒度分布 、工件 的材料组成 、抛光 的超 光滑 表 面试件 ，如 图 1 试件 图片 液的酸碱度和浓度 、抛光液与工件表面进行化学作 图 1所示 。 ； s s ； s ； S 0石 0 e 0 ＼! s S s s ； 、 本、高质量以及灵活的市场反应能力成为了竞争 的 gineeringManufacture，2003，217(B)：513530． 重点 。在企业竞争 日益激 烈的条件下 ，产品的生产 F-s]YinZ—P。DingH。XiongY—I．A virtualprototypingap— 周期和性能以及生产成本同等重要。利用虚拟样机 proachtogenerationandevaluationofmechanicalassembly sequences[Jj．EngineeringManufacture，2004，218(B)：