曝光机能量均匀性.pdf

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2017-05-31 发布于湖北
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曝光机能量均匀性

曝光機能量均勻性調試及調整機台型號:UVE--M552 設備供應商:志聖公司需求人力:2人正常耗用工時:1H 機台外型圖 1 曝光機能量均勻性調試及調整方法 1、準備工具 ②.十字螺丝刀一把 ①.平行光能量测试仪一块 ③.内六角扳手一套 2 2、合上框架將臺面框架放下 3 3、測試點點陣圖。。。如圖示測試臺面上9 個點位,其中周邊點位距臺面框邊緣約5CM 。。。間距壓克力框。。。 4 4、粘貼探頭用紙膠帶將能量檢測探頭粘貼在曝光機框架右下角第1 個點位 5 5、開啟吸真空點按吸真空按鍵,待真空度達到設定值 6 6、使框架前進點按框架前進按鍵,框架進入曝光室內自動曝光 7 7、自動曝光