[机械标准]JBT 9125-1999 立式涡轮分子泵.pdfVIP

ICS 23. 160 J 78 JB/T 9125 1999 式 涡 轮 分 子 泵 Vertical turbo molecular pump 1999-07-12 发布 2000-01-01 实施 国 家 机 械 工 业 局 发 布 JB/T 9125 1999 前 言 本标准是对ZB J78 015.1 89 《 式涡轮分子泵 型式与基本参数》和ZB J78 015.2 89 《立式 涡轮分子泵 技术条件》进行的修订。修订时，对原标准作了编辑性修改，主要技术内容没有改变。 本标准自实施之日起代替ZB J78 015.1 89 和ZB J78 015.2 89。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位：沈阳真空技术研究所、南光机器厂。 本标准主要起草人：李玉英、李春影、冯慧生。 本标准于1989 年首次发布。 I 中华人 民共和国机械行业标准 JB/T 9125 1999 式 涡 轮 分 子 泵 代替 ZB J78 015.1－89 ZB J78 015.2 –89 Vertical turbo molecular pump 1 范围 本标准规定了 式涡轮分子泵的型式，基本参数，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、 运输和贮存等。 本标准适用于具有前级泵、变频电源的 式涡轮分子泵 （以下简称泵）。 2 引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本 均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准必威体育精装版版本的可能性。 GB 191 1990 包装储运图示标志 GB/T 4982 1985 夹紧型真空快卸法兰 GB/T 6070 1995 真空法兰 GB/T 6071 1985 超高真空法兰 GB/T 6587.1 1986 电子测量仪器 环境试验总纲 GB/T 6587.2 1986 电子测量仪器 温度试验 GB/T 6587.3 1986 电子测量仪器 湿度试验 GB/T 6587.4 1986 电子测量仪器 振动试验 GB/T 6587.5 1986 电子测量仪器 冲击试验 GB/T 6587.6 1986 电子测量仪器 运输试验 GB/T 7774 1987 涡轮分子泵 性能测试方法 GB/T 13306 1991 标牌 JB/T 5278 1991 铜丝密封可烘烤真空法兰 JB/T 8106 1999 容积真空泵噪声测量方法 JB/T 8107 1999 容积真空泵振动测量方法 3 定义 本标准采用下列定义。 3. 1 抽气速率 泵在正常工作条件下，单位时间内被抽气体通过测试罩流经分子泵进气口的体积，即气体流量与 测试罩规定位置测得的平衡压力之商。 3. 2 极限压力 国家机械工业局 1999-07-12 批准 2000-01-01 实施