[机械标准]JBT 8554-1997 气相沉积薄膜与基体附着力的划痕试验方法.pdfVIP

A29 JB/T 8554－1997 气相沉积薄膜与基体附着力 的划痕试验法 1997-04-15 发布 1998-01-01 实施 中华人民共和国机械工业部 发 布 JB/T 8554－1997 前 言 本标准是关于气相沉积 TiN 等硬质薄膜取样和试验的系列标准之一。 x 本标准首次制订。 本标准由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会提出并归口。 本标准负责起草单位：中国科学院兰州化学物理研究所、大连理工大学。 本标准主要起草人：于德洋、翁立军、王 茹、汪晓萍、华敏奇。 本标准于 1997 年 4 月 15 日首次发布。 I 中 华 人 民 共 和 国 机 械 行 业 标 准 气相沉积薄膜与基体附着力 JB/T 8554－1997 的划痕试验法 1 范围 本标准规定了测定气相沉积 TiN 等硬质薄膜–基体界面耐金刚石压头划剥性能的试验方法。 x 本标准适用于气相沉积的硬质薄膜，也适用于气相沉积的润滑薄膜。 对任何特定的应用，所规定的试验方法可用补充资料加以完善。这些资料应来自相应的国际标准、 先进工业国家标准或国家标准、行业标准及其他相应文件，必要时，也可由测试和送样双方协商提出相 应文件。 2 引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均 为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准必威体育精装版版本的可能性。 GB 6463—86 金属和其他覆盖层 厚度测量方法评述 GB/T 2848—92 洛氏硬度计 技术条件 GB/T 4342—92 金属显微维氏硬度试验方法 JB/T 7505—94 离子镀技术术语 JB/T 7707—95 离子镀硬质薄膜厚度试验方法 球磨法 3 方法概述 根据压头上自动连续增加的垂直载荷，测定完全划透薄膜并使之从其基体上连续剥离所需要的最小 载荷，即薄膜–基体界面附着失效的临界载荷 LC 。 4 仪器 测定 LC 的自动划痕试验机的结构原理如图 1 所示。该仪器由下列主要部件组成：A—压头连续加 载电机；B—声发射探头，探测划痕产生的声发射强度并输入微机；C—洛氏硬度计标准压头；D—试 样台；E—位移电机，用以匀速沿水平方向拖动试样台；F—切向摩擦力传感器，连续检测压头与薄膜 之间的摩擦力并输入微机；G—试样台高度升降螺杆；H—加载压力传感器；I—光学显微镜(≥40 ×)；J —信号放大器；K—变换控制器；L—微型计算机，用以实施测试自控和自动处理数据，并动态显示及 存贮数据与图形；M—试样；N—CRT 显示器；O—绘图打印机，输出试验结果；P—压头加载机构；Q —主支架。 机械工业部 1997-04-15 批准 1998-01-01 实施 1 JB/T 8554－1997 图 1 自动划痕试验机结构原理图 5 试样 5. 1 基体 a)