有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共17页，可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
国立交通大学（奈米中心）
國立交通大學 (奈米中心)
LPCVD 、Sintering水平式真空爐管等設備一式
案號:A14029A
LPCVD 製程系統
06. 2015
操
作
說
明
書
森積科技有限公司
台北市內湖區陽光街 347號 4樓之 1
TEL:886-2-8797-7222 FAX:886-2-8797-2525
國立交通大學 (奈米中心)
LPCVD 、Sintering水平式真空爐管等設備一式
案號:A14029A
LPCVD 製程系統
目 錄
1. 自動爐管結構示意圖
2. 自動爐管爐架示意圖
3. 氣體管路配置圖
4. 爐管使用前注意事項
5. 氣體盤介紹
6. 可程式人機 控制使用說明
7. 故障排除
1. 自動爐管結構示意圖
MFC
N2 NH3 PH3
SiH4 SiH2Cl2
TEOS
人機觸控 PLC 爐管溫控器 爐管
螢幕 石英管內溫控器
電腦溫度
紀錄程式
可紀錄 1.設定溫度
2.管內即時溫度
3.氣體流量
4. 真空度
5.可曲線顯示
2.自動爐管爐架示意圖
三色指示燈
氣體盤
前封口
後封口
秏電電錶
滑台
自動壓力
文档评论（0）