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阿尔卡特A100真空泵用户手册A010
A 10 A100 operating principle DESIGN TO MINIMIZE POTENTIEL RESIDUES The equipment was designed to minimize potentiel residue deposits: H by limiting the internal volumes that contain gas, H by injecting N2 purge on each pump stage to dilute the process gas (P version only), H by regulating the pump temperature and adjusting it to each process in order to limit gas condensation (P version only), H by integrating the silencer inside the pump to reduce by-product deposition. MULTI-STAGE PUMP WITH ROOTS TECHNOLOGY A100 pump consists of 5 Roots type stages. The two rotors rotate without touching each other. INLET EXHAUST 0 Stage 5 Stage 4 Stage 3 Stage 2 Stage 1 0 e High pressure stage Transfer stage Transfer stage Transfer stage
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