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分选机培训教材 培训内容 一、机器的概况 二、机器的测量系统说明 三、操作说明 四、常见故障 五、常用参数调整汇总 一、机器概况说明 机器的模拟实物图 二、机器的测量系统说明 从机器前到后测量模组分配依次是（如下图） E+H模块，即厚度检测模块； Smark模块，即线痕检测模块； NVCD模块，即隐裂检测模块； Stain模块，即油污检测模块（分为上部和下部）； Edgesystem模块，即崩边检测模块； Geometry模块，即几何尺寸和翘曲模块； 一、E+H模组如右图所示 右图是E+H测量的控制系统及电阻率、TTV、厚度的链接线 这是E+H测量传感器探头分为3对 二、Smark模组如右图所示 此处为上部相机分为左上右上下部同样有两个相机 这是右侧激光发射器分为右上右下同样左侧也有两个 三、NVCD模组如右图所示 右图是隐裂模组的相机 四、Stain模组如右图所示 Stain模组分为上部和下部两块此图为上部 Stain模组下部测量系统 五、Edgesystem模组如下图所示 左图为崩边模组相机 六、Geometry模组如右图所示 几何尺寸模组 三、操作说明 1、上料台操作面板 2、显示屏PLC面板操作信息 3、所有报警信息记录查看在下图 4、显示屏measuring server面板操作信息 序号 图片 描述 1 上料台两大一小的感应器放大器调节 2 KVM上各模组切换 5、上料感应以及模组切换信息 三、常见故障列表 序号 报警信息 描述 1 Wafer jam on the belt 卡片故障 2 No image from … 属于某个测量模组相机没有连上 3 Smark is not calculated 线痕故障，出现相机处理数据计算不过来 4 Cannot read the AVS file 菜单没有加载 5 Emergency stop… 急停被触发 6 EMC_CLASS_TIMEOUT 出现软件故障 7 No NVCD image 隐裂没有图像 8 … … … … … 序号 故障信息 解决方法 1 卡片 卡片故障有多种分为以下几种： 上料台卡片 检查上料台盒子放置位置、是否有厚片，传感器灵敏度调整、皮带是否脱落等 检测主体卡片 检查检测系统是否处理数据死机，对其进行重启，皮带是否脱落、E+H处是否片子不居中、Stain盒子中是否有碎片等 下料台卡片 是否皮带脱落、Switch出现故障、传感器故障、盒子位置不对导致片子进入时遮到感应器等 2 传感器故障 检查传感器是否损坏，NG进行更换，位置调整是否感应到 3 无检测数据 对各模块进行重启 4 急停故障 检查各个急停按钮，检查上料台下部的急停装置 5 同步轮皮带与传送皮带磨损断裂 选择适当的皮带进行更换，小心安装 6 下料台丝杆损坏 更换丝杆 7 检测图片位置不正确 重新校准 8 触屏不灵 进行左、右侧触屏校准 序号 故障信息 解决方法 9 上料按钮按下弹不起 将按钮拆下重新转动外壳至最合适的位置，反复按试 10 片盒未满100不进片 对整个下料台进行初始化，进入service中 11 下料台出现片盒死机 同上进行初始化 12 上料架下片时总是留一片 可以调节PLC中0X6141和0X6142中参数 13 上料感应器灵敏度故障 通过调节对应放大器，顺时针为灵敏度增强，逆时针为减弱 14 上料台跑片时出现下一盒上升 可以复位上料台或者将片盒档位从1—3然后再3—1，最后返到3位置 15 Stain中出现卡片 检查盒罩内有无碎片，清理后重新开启程序 四、常用参数调整汇总 序号 图片 描述 1 调节E+H处陶瓷片宽度 2 调节DI上料台左、右偏转位置，1是调节左侧，2是调节右侧 序号 图片 描述 3 调节上料台下降速度 4 调节下料台整体片盒高度66Zylinder_1是调节第一个下料台，7是调节第二个下料台 序号 图片 描述 5 调节下料台单个片盒高度，同上6是调节第一个，7是调节第二个 6 屏幕校准步骤 序号 图片 描述 7 调节上料台下降行程参数设置 8 上料台上料档位1至3档中每档上片数设置 * * * * * * * *