分局拟对集成电路装备零部件柔性数字化车间建设项目环境.docVIP

沈阳市环保局东陵（浑南新区）分局拟对集成电路装备零部件柔性数字化车间建设项目环境影响评价文件作出审批意见的公示 根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定，经审议，我局拟对集成电路装备零部件柔性数字化车间建设项目环境影响评价文件作出审批意见。现将拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示，公示期为2017.5.2至2017.5.8。依据环评报告内容，进入下一步审批程序，拟做出审批意见。公众可在公示期内以电话、传真、信件等方式提出意见，可按照《行政许可法》第四十七条之规定，向我分局提出听证申请。行政许可申请人、利害关系人在被告知听证权利之日起五日内提出听证申请的，沈阳市环保局浑南新区分局在二十日内组织听证。 联系电话： 024 024传真） 联系地址：沈阳市浑南区银卡东路8号，沈阳市浑南区政务服务中心一楼环保窗口 集成电路装备零部件柔性数字化车间建设项目环境影响评价文件基本情况 一、项目名称 集成电路装备零部件柔性数字化车间建设项目 二、建设地点 沈阳市浑南区飞云路18号 三、建设单位 沈阳富创精密设备有限公司 四、环境影响评价机构 辽宁唐龙技术咨询有限公司 半导体装备（以下简称IC装备）零部件产业是IC装备制造业的基础性产业，针对集成电路装备精密零件加工品种多、单件小批量、品种更换频繁、加工辅助时间长等工艺特点，目前要解决的的问题就是提高生产效率，提升产品质量，增加市场竞争力，进行智能工厂的建设。突破以往结构单一、效率低下的生产模式，优化生产线运行效率和快速响应水平，实现零件的高柔性、高效、低成本、智能化加工，形成集成电路装备零件加工的智能制造生产模式，显著提升集成电路装备零件制造能力和生产管理水平，有效提升集成电路装备零件研制的快速响应能力。 富创精密公司作为国内领先的半导体精密零部件供应商，在国家政策的号召下，以两化融合为发展契机，积极推动企业内部业务流程优化，提升管理水平，极大地提高生产效率、产品质量和服务水平，使“中国制造”向“中国智造”转变。针对集成电路装备精密零部件高效柔性定制化需求 1大气环境影响分析及污染防治措施 项目整体工序中产生的大气污染物主要包括：生产过程中抛光、打磨、喷砂过程产生的粉尘、焊接烟尘及表面处理产生的酸雾。 抛光、打磨、喷砂过程产生的粉尘处置依托原有厂房进行，原有厂房已建有集气罩、除尘器等环保设施，产生的粉尘经布袋除尘器收集处理后经15m高排气筒排放，能够满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）新污染源二级排放标准。 本项目焊接生产线在C#2厂房内进行。C#2厂房内设置独立的焊接封闭区域，烟尘经集气罩收集后，经15m高排气筒排放。项目风机设计排放量为2000m3/h，运行时间为2h/d，烟尘排放浓度约为3.4mg/m3，排放速率为0.0068kg/h，焊接烟尘排放满足国家《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）新污染源二级标准（最高允许排放浓度120mg/m3，15m高排气筒最高允许排放速率3.5kg/h）。 项目表面处理生产线产生的酸雾通过排风管进入酸洗塔，酸洗塔内有喷淋口，喷出氢氧化钠溶液进行中和处理，处理合格的气体即可通过15m排气筒排出，酸洗塔风机风量31257m3/h，处理效率95%。处理后的废气能够满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）新污染源二级排放标准。 酸洗塔处理工艺简述 项目阳极氧化、酸洗、钝化等过程会产生的酸雾，在槽边设置抽风系统，将酸雾收集后，送酸洗塔处理后由15m高排气筒排放。 （）酸碱废气处理装置原理： 喷淋塔：喷淋塔的原量是让通过的抽风系统排出的酸雾能通过管道由塔的下方进入塔内，而中和用的碱水从塔顶部向下分级喷淋。碱水形成大小合适的液滴，充分与上行和酸雾接触而发生中和反应。气体在喷淋塔横截面上的平均流速一般为0.5-1.5m/s。气流在通过筛板等塔内构件时会受到一定阻力。 浮球塔：浮球塔的原理是在塔内的筛板上放置一定数量的小球。气流通过筛板时，小球在气流的冲击下浮动旋转，并相互碰撞，同时吸收从上往下喷淋的中和水，使通过的气体与之反应，使气体中混入的酸雾或碱雾被吸收。由于球面液体不断更新，气体不断向上排放，使过程得以连续进行。这咱小球通常以聚乙稀或聚丙稀制作，直径为25-38mm。浮球塔的空塔速度为2-6m/s，第段塔的阻力为400-600Pa。 反应原理： ① 硫酸酸雾、氢氟酸酸雾的中和处理。采用10%的碳酸钠中和处理。 碱性溶液中和酸雾后，就有沉淀箱让净化过程中产生的渣沉淀下来，碱液通过循环系统还可以现使用，但当其PH值达到8-9时，接近中性，应该补充新的碱液。 ② 硝酸酸雾的中和处理：硝酸可以采用氨溶液进行中和： 2NO+O2=2NO2