薄膜取向程度与实验参数间的函数关系.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 一 文章编号 一 一 薄膜取 向程度与实验参数 间的函数关系 , , , , 红 ‘ “ 许 小 , 张 富强 武海顺 张聪杰 李佐 宜 汉 山 西 师范大 学化 学系, 临汾 华 中科技 大 学 电子 科 学与技 术 系, 武 要 反应 膜 , 膜 的 优 的实 关 立 晶面 摘 溅射制备 薄 时 薄 择 取 向 众多 验参数有 建 择优 与 、 、 取 程 压 靶基距 靶功 重要 实验 之 间的函 关系, 避 免 了 究每一项 向 度与溅射气 率等 参数 数 研 参 影 , 到 数对薄膜择优取 向 响所 需的实验次数 的繁多 得 制备择优取 向程度最佳薄膜 的实验