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第27卷 第6期 传 感 技 术 学 报 V0l_27 No．6 2014年 6月 CHINESE JOURNALOFSENSORSANDACTUATORS June2014 Design ofThermopile·BasedInfraredDetectorswith SuspendedAbsorber·ThermopileBi-Layers CHENYuanjing ，MAOHaiyang，n ，TANQiulin，XUEChenyang， OUWen ，CHENDapeng ，XIONGJijun (1．KeyLabofInstrumentationScienceandDynamicMeasurement，NorthUniversityofChina，Taiyuan030051，China； 2．KeyLaboratoryofMicroelectronicsDevicesandIntegratedTechnology，InstituteofMicroelectroaics，ChineseAcademyofSciences， Beijing100029．China；3．SmartSensorEngineeringCenter，JiangsuRDCenterforlnternetofThings，Wuxi214135，China) Abstract：Anovelinfrared(IR)detectorisdesignedandpresented．Thedetectortakesadvantageofsuspended absorber—thermopilebi—layerstoachievehighperformancewitharelativelysmallsize．Thebi—layersarerealizedby usingtwo separated sacrificiallayers，which includea Poly—Sifilm beneath the thermopilesand apolyimide depositionoverthethermopiles．Simulationresultsdemonstratethatthedetectivity，responsibilityandresponsetime oftheIR detectorscanreach2．85×10 cmHZ(1／2)／W 1800V／W and6ms，respectively．Moreover，thefabrication ， oftheIRdetectorishighlycompatiblewithstandardCMOSprocess，whichasaresult，makesthehigh—yieldand low—costproductionpossible． Keywords：infraredthermopiles：suspendedabsorber—thermopilebi-layers；polyimide；front—etching；CMOSprocess EEACC：2650Z doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2014．06．005 一 种基于悬浮吸收层的双层结构的热电堆红外探测器 陈媛婧 ，毛海央 ，谭秋林 ，薛晨阳 ，欧 文 ，陈大鹏 ，熊继军 (1．中北大学纳米纳米技术研究中心 ，太原030051；2．中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心，北京 100029； 3．江苏省物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心，江苏 无锡 214135) 摘 要：提出一种新颖红外传感器，这种传感器采用悬浮吸收层的双层结构的优势，来实现相对小尺寸下的高探测性能。双 层结构采用2种牺牲层材料，分别为聚酰亚胺牺牲层和预埋在热偶条和沉底之间的多晶硅材料。