声表面波延迟线振荡器为核心的气体传感器.pdfVIP

第卷第 期 庄 电 与 声 光 杨 年 月 面 延迟 振 心 声表 波 线 荡器为核 的 气体传感器 刘 镇 清 学 海同济大 声学研究所 工 , 摘要 声表面波 器件的 作频率随基片表面 的负载质量变化而发生漂移 通常利用 , 巳 了 延 。 这一性质作气相分析与检测 经有 若干用 迟线器件制成的化学传感器 传感器表面涂 一层 , 吸 , 吸 收 着 有化学选择性的薄膜 这一涂层则在化学分析时有选择地 收待测气体分子 涂层在 了 , 这 的 度 吸收 气体后发生一些物理变化 因而 种传感器 灵敏 与 延迟线表面 的涂层对气体的 。 器 用 的 它, 一 , 量有关 许多实际使用的传感 是 双 延迟线组成 们集成在 片基体 并在一个 延 吸 , 不 。 迟线表面 涂 气体 附薄膜 而另一个则 涂任何物质 了 , 、 以 系 本文讨论 这种传感器的若干问题 如温度影响 响应时间 及频率变化与气体浓度间关 的 。 了 的 。 非线性 最后提出 在 传 感器应用时 改进方法与措施 词 、 关键 声表面波器件 气体传感器 , 。。 。。 。 。 。 。