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半导体器件基本结构.pdf
半导体器件基本结构
1、金属-半导体接触
2、pn结二极管
3、金属-绝缘体-半导体结构
金属-半导体接触—— 目的
1、掌握相关的基本概念:功函数、
电子亲和势、表面势等。
、画出金属 半导体接触能带图
2 -
3、知道制作欧姆接触的方法。
功函数 E0
W
m
金属的功函数W (E )
m F m
金属的功函数表示一个起始能量等于费米能级
的电子,由金属内部逸出到表面外的真空中所
需要的最小能量。
W E −( E )
m 0 F m
E 为真空中电子的能量,又称为真空能级。
0
半导体的功函数Ws
E 与费米能级之差称为半导体的功函数。
0
W E −( E )
s 0 F s
E0
χW
s
E
χ表示从E 到E 的能量间隔: c
c 0 E
n (E )
F s
E
χ E0 −Ec p Ev
称χ为电子的亲和能,它表示要使半导体导带
底的电子逸出体外所需要的最小能量。
E0
χWs
E
c
E
n (E )
n型半导体: E F s
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