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半导体器件基本结构.pdf

半导体器件基本结构 1、金属-半导体接触 2、pn结二极管 3、金属-绝缘体-半导体结构 金属-半导体接触—— 目的 1、掌握相关的基本概念:功函数、 电子亲和势、表面势等。 、画出金属 半导体接触能带图 2 - 3、知道制作欧姆接触的方法。 功函数 E0 W m 金属的功函数W (E ) m F m 金属的功函数表示一个起始能量等于费米能级 的电子,由金属内部逸出到表面外的真空中所 需要的最小能量。 W E −( E ) m 0 F m E 为真空中电子的能量,又称为真空能级。 0 半导体的功函数Ws E 与费米能级之差称为半导体的功函数。 0 W E −( E ) s 0 F s E0 χW s E χ表示从E 到E 的能量间隔: c c 0 E n (E ) F s E χ E0 −Ec p Ev 称χ为电子的亲和能,它表示要使半导体导带 底的电子逸出体外所需要的最小能量。 E0 χWs E c E n (E ) n型半导体: E F s

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