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位置敏感探测器_PSD_的研究进展_陈冬严.pdf
第 26 卷 第 4 期 光 学 仪 器 V o l. 26,N o. 4 2004 年 8 月 O P T ICA L IN STRUM EN T S A u gu st, 2004 文章编号:(2004) 位置敏感探测器(P SD ) 的研究进展 陈冬严, 林 斌, 陈钰清 (浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心, 浙江 杭州 3 10027) 摘要: 回顾了位置敏感传感器(P SD ) 的发展历史, 介绍了各种光敏面结构的P SD 。并结 合研究成果, 阐述了单晶硅、氢化非晶硅、有机材料、大面积挠性薄膜、 型, 一维及二 CM O S 维阵列 P SD 等采用各种组成材料和工艺制作的P SD 的发展现状, 并对今后的发展和研究 方向进行了展望。 关键词: 位置敏感探测器(P SD ) ; 氢化非晶硅; 阵列; 综述 中图分类号: TN 247 文献标识码: A D evelopm en t an d progressin g of po sit ion sen sit ive detector , , CH EN D ong y an L IN B ing CH EN Y u q ing (CN ER C fo r Op t ica l In st rum en t , Zh ej iang U n iver sity , H angzhou 3 10027, Ch in a) : A bstract Po sit ion sen sit ive detecto r s are con t inuou s op t ica l sen so r s u t ilizin g th e latera l p ho tovo lta ic effect to p ro du ce an elect r ica l ou tp u t th at var ie s lin ear ly w ith ligh t sp o t p o sit ion w ho se re search h isto ry is b r ief ly in t ro du ced. W h ile P SD s are u sed in m o re an d m o re f ield s, th e ch eap er P SD w ith larger sen sit ive area an d fa ster re sp on se sp eed are n eeded an d at th e sam e t im e, f lex ib le, o rgan ic an d CM O S 1 2 b a sed P SD an d D an d D P SD ar ray s are develop ed to m eet th e sp ecif ic req
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