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纳米分辨微小光斑光强分布检测系统设计
学兔兔
第 卷 第 期 光 学 仪 器
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纳米分辨微小光斑光强分布检测系统设计
刘仲之单秋霞马振新董祥美
上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海
摘要介绍了现有的微小光斑测量技术针对纳米分辨率检测精度要求对纳米分辨微小光斑光
强分布检测技术进行深入研究设计和构建了具有纳米分辨的微小光斑光强分布检测系统利
用该检测系统进行了低数值孔径弱聚焦下所形成的微光场光强分布检测实验得到较好的光强
分布图实验结果表明该检测系统具有可靠性高稳定性好便于操作等优点
关键词光强分布检测微小光斑纳米分辨率
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