超精密机床隔振地基模型建立与分析.pdfVIP

2013年 1月 机床与液压 Jan．2013 第41卷 第2期 MACHINETOOL HYDRAULICS Vo1．41No．2 DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2013．02．009 超精密机床隔振地基模型建立与分析 张明，赵鹏宁 (中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳621900) 摘要：低频信号对超精密加工机床的影响较大，必须将其隔除。介绍一例精密机床隔振地基的模型，并对该模型的隔 振性能进行了一些探讨。 关键词：精密机床 ；隔振地基；模型 中图分类号：TG659 文献标识码：A 文章编号：1001—3881(2013)2—028—2 M odelBuildingandAnalysisforaSuperPrecisionMachineToolIsolationFoundation ZHANG Ming，ZHAO Pengning (InstituteofMachineryManufacturingTechnology，ChinaAcademyofEngineeringPhysics， MianyangSichuan621900，China) Abstract：Low frequencysignalhasgreatinfluenceonultra—precisionmachinetools，SOitmustbeisolated．A precisionma- chinetoolisolationfoundationmodelwasintroduced．TheisolationperformancesofthemodelWerediscussed。 Keywords：Precisionmachinetools；Isolationfoundation；Model 环境振动的干扰不仅会引起机床本体的振动，更 振地基，通过隔振地基隔除振动信号，主要是低频信 主要的是会引起切削刀具与被加工零件间的相对振动 号；(3)机床 自身隔振，在机床 自身装置上设置隔 位移 ，后者将直接反映到被加工零件的精度和表面质 振装置，如空气弹簧等。 量上，因此超精密加工机床必须设置性能优 良的隔振 1 一种二 自由度隔振地基实例 装置。机床避免振动有 3级模式： (1)逃避振源， 一 种二 自由度隔振地基结构如图1所示。 将超精密机床建设在远离振源的地方； (2)建设隔 地基封装砖 地基 防振沟，高度1800mm， 左右(填充物为泡沫或橡 第5层，混凝土地基， A-A隔振 地基 第2层隔振碳花，厚度100—150mm 图1 二 自由度隔振地基结构 该隔振地基总共由7层组成，其中第4和第 6层 m l 聚苯乙烯层主要起隔振作用，双层聚苯乙烯层中间夹 中 混凝土。聚苯乙烯阻尼较大，底层用阻尼较小的碳花 m 2 和砂垫底。 图2是此隔振地基的动力学模型图，它实际上是 辜 中 一 个动力减振器。 图2 二 自由度隔振模型 收稿 日期：2011一