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微V型槽高精密磨削机床研制
第5期 组合 机床 与 自动化 加工 技术 No．5 2015年5月 M odularM achineTool AutomaticM anufacturingTechnique M ay2015 文章编号：1001-2265(2015)05-0137—04 DOI：10．13462／j．cnki．mmtamt．2015．05．039 微V型槽高精密磨削机床研制术 李志才，高伟强，刘建群，刘 强，黄国强 (广东工业大学 机电工程学院，广州 510006) 摘要：微V型槽阵列器件是光纤通讯设备的关键结构元件之一。随着光纤通讯技术的发展，利用传 统刻蚀和切削的加工方法，已无法满足微V型槽高精度 的要求。在分析了微V型槽阵列器件的设计 要求，文章提 出一种机床方案，基于精密机床的T型布局，采用金刚石成型砂轮 ，开发专用数控系统 实现微V型槽阵列的高精密磨削。采用激光干涉仪对机床性能和定位精度进行测试分析，测得机床 z轴的定位精度误差达到 ±0．1,／m。结果表 明，该机床能达到预期的实时运动控制和定位精度要 求，并流畅运行，验证 了该方案的可行性和有效性。 关键词 ：微 V型槽阵列 ；精密磨床 ；激光干涉仪 ；定位精度 中图分类号 ：TH165；TG506 文献标识码 ：A DesignonV ·grooveOpticalFiberConnectorforUltra-precisionGrindingM achineToolCNC System LIZhi—cai，GAOWei—qiang，LIUJian—qun，LIUQiang，HUANGGuo—qiang (SchoolofElectromechanicalEngineering，GuangdongUniversityofTechnology，Guangzhou510006，China) Abstract：ThedeviceofmicroV—groovearrayisoneofthekeystructurecomponentsofopticalfibercom— municationequipment．W iththedevelopmentofopticalfibercommunicationtechnology，usingconventional etchingandcuttingmachiningmethod，unabletorealizethehighprecisionrequirementofmicroV—groove． OnhteanalysisofthedesignrequirementsofthemicroV—groovearraydevice，amachinetoolisproposedin htispaper，basedonhteT layoutofprecisionmachinetools，develop specialCNC system torealizehigh precisiongrindingmicroV—groovearrayswith specialshapeofdiamondgrindingwhee1．W iht laserinterfer- ometer，toanalysisthemeasurementdataofperformanceandpositioningaccuracyofNC machinetools，and tomeasurehtepositioningaccuracyerrorofZ axisattherangeofplusorminus0．1／zm．Resultsshow that themachinetoolisabletoachieverequirementsofthedesiredreal-·timemotioncontrolandpositioningaccura-· cy，andthemachinesmoothrunning，so，verifythefeasibilityandeffectivenessoftheseheme． Keywords：arraysofmicroV-groove；precision
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