13制造1部生产过程管理程序.docVIP

目的 通过对生产重要过程的规范，使生产工艺过程及交期处于受控状态。 范围 适用于制造一部生产多晶硅锭的过程。 三、职责 3.1部长 3.1.1负责确认生产计划部发出的《月生产计划单》及《周生产计划单》； 3.1.2负责《生产日报表》《生产周报表》《生产月报表》的审核; 3.1.3负责生产所需人员﹑材料及设备等相关资源的调配安排。 3.2工艺工程师 3.2.1负责所属工序作业指导书的制订及修订； 3.2.2负责所属工序品质异常的处理; 3.2.3负责所属工序检验记录的审核及不合格时提出处理办法； 3.2.4负责对作业人员进行所属工序作业指导书的培训及实施监督； 3.2.5DSS炉区工艺工程师负责熔融结晶过程出现偏离时设定参数的调整。 3.3生产工程师 3.3.1负责填写《生产任务单》，及生产组织、协调、调度。 3.4设备工程师 3.4.1负责制造一部所有设备故障维修方案的提出及维修跟进; 3.4.1负责制定《制造一部设备保养计划》及设备安全操作及保养作业指导书并跟进其执行。 3.5值班主任 3.5.1负责确认《生产任务单》； 3.5.2负责当班生产的组织协调以保证《生产任务单》的按时完成。 3.6生产班长 3.6.1负责本班组生产组织安排; 3.6.2负责监督本班组作业指导书的执行和设备安全操作及保养作业指导书中安全 操作及日保养的执行。 3.7统计员 3.7.1 负责《生产日报表》《生产周报表》《生产月报表》的数据统计。 四、定义 DSS: Directional Solidification System 的缩写，意为定向结晶系统。 五、工作程序 5.1制造一部部长负责对生产计划部发出的《月生产计划单》及《周生产计划单》进行确认。 5.2生产工程师根据《周生产计划单》填写《生产任务单》经部长确认后下发相关班的值班主任。 5.3值班主任接到《生产任务单》后，根据《生产任务单》的要求安排人员开具《领料单》到仓库领 取硅料﹑坩埚﹑坩埚喷涂用的材料﹑掺杂料及相关所需材料。 5.4生产过程控制 5.4.1硅料分类 硅料准备组对领回的硅料按是否需要喷砂、打磨或去头以及是否需清洗进行分类标识。 5.4.2喷砂、打磨或去头尾 需要喷砂、打磨或去头尾的硅料由喷砂组领回进行处理。喷砂打磨依照《喷砂打磨作业指导书》 作业；去头尾依照《硅块去头尾作业指导书》作业。 5.4.3硅料清洗 5.4.3.1所有非免洗料都须进行清洗，清洗分手动清洗和自动清洗。 5.4.3.2手动清洗 5.4.3.2.1清洗组在对硅料进行手动清洗时, 必须按照类别、批次（相同P型﹑N型或P/N型， 并且相同电阻率）作业，防止不同批料的混淆； 5.4.3.2.2清洗组员工将装筐的硅料放入超声波清洗机内依次清洗，按照《制造一部超声波清洗 作业指导书》作业； 5.4.3.2.3为了去除硅料表面残留清洗液或碱液, 超声波清洗完的硅料必须进行冲淋, 冲淋完 毕后进行烘干，冲淋烘干依照《冲淋、烘干作业指导书》作业； 5.4.3.3自动清洗:清洗班员工按照已设定好的自动清洗机的自动运行程序按规定上料卸料,并目 视检查清洗状况,发现异常,及时向班长汇报。 5.4.4全检 经过手动清洗并烘干以及经过自动清洗机清洗的硅料由清洗班员工进行全检，全检合格的则 装入贴有标识贴纸的袋中；全检不合格的则放入不合格袋中，按《不合格品管理程序》处理。 5.4.5坩埚加工 5.4.5.1将坩埚放置于喷涂转机上, 进行坩埚内侧表面喷涂, 操作及相关工艺参数按照《坩埚喷涂 作业指导书》； 5.4.5.2喷涂完毕, 放入烤箱进行烘烤, 烘烤操作依照《坩埚烘烤作业指导书》。烘烤完毕按照 《坩埚检验作业指导书》作业，并将检验结果记录在《坩埚检验记录表》上，不合格坩埚 按《不合格品管理程序》处理； 5.4.6物料班对待装坩埚硅料进行复检, 复检按照《硅料复检作业指导书》, 并将检验结果记录在 《硅料复检记录表》中，复检不合格时，按《不合格品管理程序》处理。 5.4.7坩埚班按照配比并将清洗合格的硅料﹑掺杂物料，按照《装坩埚作业指导书》作业。装坩埚完 成后，用塑料保护膜在坩埚上面覆盖以防杂物灰尘混入，坩埚班长填写《装料坩埚追踪号单》， 将装好料的坩埚连同《装料坩埚追踪号单》送入DSS炉区。 5.4.8 DSS作业 5.4.8.1DSS炉区当班班长在接到装好料的坩埚后, 根据情况安排人员安装坩埚护板； 5.4.8.2DSS当班班长首先根据设备标识牌确认将要使用的DSS炉是否处于完好状态，并对DSS炉 系统参数进行确认。确认合格后安排操作员装料入炉，操作员装料入炉操作依据《装料入 炉操作作业指导书》； 5.4.8.3装料入炉完毕后, 操作员填写《Run Date Sheet》； 5.4.8.4操作员在DS