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． 机械制造与研究 · 贾轶杰，等 ·几种必威体育精装版加工微阵列方法的比较 几种必威体育精装版加工微阵列方法的比较 贾轶杰 ，何勇，张年松，李迎 (南京理工大学 机械工程学院，江苏 南京 210094) 摘 要 ：分别介绍 了使用LIGA技术、微细电火花线切割技术(一WEDM)、微磨技术、组合式加 工技术加工微阵列的必威体育精装版方法。使用移动 LIGA技术加工微针阵列、微细 电火花技术加工复杂 的三维微阵列电极、微磨技术加工微锥塔阵列、和 uV—LIGA技术与微细 电火花技术组合加工 微阵列电极的工艺方法 。主要论述各种方法加工高深宽比阵列结构的原理及其优缺点以及加 工中的效率、成本等问题。 关键词 ：微 阵列；LIGA技术 ；微细电火花线切割 ；微磨技术 ；组合式加工 中图分类号：TH16 文献标志码：A 文章编号2012)01-0043-02 ComparisonamongSeveralLatestM ethodsofProcessingM icroarray JIAYi-jie，HEYong，ZHANGNian—song，LIYing (NanjingUniversityofScienceandTechnology，Nanjing210094，China) Abstract：ThispaperdescribesthelatestprocessingmethodsinwhichtheLIGA technology，u-WEDM technology，micro—milling technology，combinedprocessingtechnologyareused．Forexample，themobileLIGA technologyisusedtoprocessmicroneedles， theu-W EDM technologytoprocesscomplexthree-dimensionalmicroelectrodearray，themicro—millingtechnologytoprocessmicro pyramid-structured surfaceandUV-LIGA andmicro EDM both technologiestoprocessmicro—electrodearray．Italsodiscussesthe principle，advantagesanddisadvantages，processing efficiency，costandothersofthefabricationofcomplianthighaspectratiomi- croelectrodearrays． Keywords：microarray；LIGA technology；p-WEDM；micro-millingtechnology；combinedprocessing 目前微阵列被广泛应用于军事、安防、医疗 、科研等领 主要是由于同步 x射线较为昂贵和生产周期较长。LIGA 域并有很好的发展前景。例如用 MEMS技术制作的微阵 技术以制造高深宽比的二维造型为主，在加工斜面，曲面和 列电极可以用于临床检测；红外焦平面阵列广泛应用于医 高密度微尖阵列方面有一定的欠缺。目前我国研究出用移 学、环境保护、军事等。微阵列加工技术的发展不仅有利 动LIGA技术加工一些简单的三维形状。 于加工结构复杂的阵列电极，还可以加工磨具 ，降低生产 以制作微针阵列为例说明必威体育精装版研究的移动 LIGA技 成本。怎样大批量低成本的加工出微阵列产品尤为重要。 术加工高密度微尖阵列的原理 (图1)。第一次曝光时，将 目前微阵列的加工技术都还处于研究阶段 ，对必威体育精装版研究出 掩模板和光刻胶基板对准；第二次曝光时，将载有同一块 的一些方法进行了总结和对 比，主要包括 LIGA技术、微 掩模板的移动平 台旋转 90。，曝光条件与第一次完全相 细 电火花加工以及组合加工技术，并对今后微阵列加工的 研究方向提出