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K465装机讲述
---K465装机培训;●K465简介 ;●机台硬件;;1.Power Supply Unit(电源);2.Source gas（源）;3.Reactor（反应室 ）;反应室基座和加热丝;反应室顶盖;;Center purge;盖子内部结构;Robot（叉子）;;;;第一天;第二天;;;;;;第三天;;;;;第四天;;;;;;1.通冷却循环水，检查各水路是否有漏。此时发现outer电极冷却水管接口处漏水，拆下重装，再检查，无漏。
2.继续缠绕反应室上盖ALK加热线
3. 发现outer加热丝的电源线已作更改，变为左负右正，拆下重装。
4. 装反应室后的尾气管道与过滤器连接的Y管.(注意水平)
5. 调节MO源恒温槽冷却水的流量.
6. 将缠好加热带的反应室盖盖上并检漏及检漏Y管. ;第六天;第七天;第八天;谢谢！
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