原子层沉积系统考核记錄表（ALD）.PDFVIP

原子層沉積系統考核記錄表(ALD) 姓名: ________學校系所: ______________ 日期：_______ 學號：________ 總分：________ 以下題目是為保護機台並讓使用者正常操作機台而設計，實作請於 1 小時內完成 ，實作超過時間限制視為不及格。 一、是非題(5 題，答錯每題扣 2 分，共 10 分): 注意：(若答案為 X，請在橫線上詳細寫明正確規定為何，答案不完整，一律不給分) ( )1. 目前 Chamber A 和 Chamber B 皆可進行前、後段製程過的試片。 ( )2. 欲進行前段製程，試片不可有金屬薄膜或經過後段製程，且試片需進行清洗。 ( )3. 本機台可使用基板尺寸為破片至八吋，且各 chamber 可進基板材質為下： Chamber A 可進基板材質：Si、Ge； Chamber B 可進基板材質：Si、Ge、Sapphire、III-V、無鹼玻璃。 ( )4. 前驅物(precursor)瓶可自行拆換或更換位置。 ( )5. 除標準製程外，若欲修改製程參數需聯繫機台技術員。 是非題評分: 二、實作(11 題，答錯扣分如題目所示，共 90 分) 注意：(不需要準備試片，實作請於 1 小時內完成，超過 1 小時視為不及格60分 ) 1、使用前機台檢查，包括：(a)電源及開關、(b)冷卻水、(c)氣體、(d)幫浦、(e)指示牌說明、(f)EMO 位置，請詳細說明，可以使用與不能使用的狀況。(每項2分，共12分)。 2、電腦操作介面軟體之使用與說明，包括：(a)軟體當機處理步驟說明、(b)USB連接E-box發生問題 時之處理步驟(開、關順序)。(每項4分，共8分) 第一頁，共二頁 原子層沉積系統考核記錄表(ALD) 二、實作(11 題，答錯扣分如題目所示，共 90 分) 注意：(不需要準備試片，實作請於 1 小時內完成，超過1 小時視為不及格60分 ) 3、(a)前驅物鋼瓶位置之確認方式、(b)氣體位置之確認方式。(每項4分，共8分) 4、(a)ALD thermal recipe說明、(b)PE-ALD recipe說明。(每項2分，共4分) 5、(a)前驅物pulse觀測紀錄、(b)氣體之觀測紀錄、(c)plasma之觀測紀錄、(d)製程中暫停的操作方式 。(每項3分，共12分) 6、實際製程，包括：(a)開腔體取放試片之操作(使用不鏽鋼夾、手套和衣袖勿碰到載盤)、(b)異物在載盤 上的處理方式。(每項4分，共8分) 7、(a)各chamber 所使用之載盤和transfer tool 勿混用，(b)chamberA的限制與chamberB的限制說明。(每 項1分，共2分) 8、緊急狀況之處理：(a)中心毒氣和火災警報時、(b)機台過熱、(c)氣體異常、(d)前驅物異常、(e) 冷卻水壓力值異常，請詳細說明以上各項之處理方式。(每項4分，共20分) 9、實驗結束後檢查：(a)確認製程是否完成的方法與動作、(b)是否關閉前驅物、(c)氣體是否歸零、(d) 關閉door purge、(e)是否抽到底壓、(f)掛回指示牌。(每項2分，共12分) 10、(a)電腦上是否有確實記錄、(b)填寫紙本記錄表。(每項2分，共4分) 11、實作時間 ，不可超過 1 小時。(注意：單項 30 分，超過 1 小時，扣 30 分)