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碳化硅材料清洗 操作规范和技巧;主要内容;工序介绍;工序介绍;工序介绍;工序介绍;操作流程;拆包装操作规范 在净化间内打开包装,检查产品型号规格是否正确,外观是否有破损(如碳化硅管)。;酸洗操作规范 把大石英管清洗槽清洗干净,配制好1:1:4,把碳化硅浆舟放进去浸泡30-50分钟。;酸洗操作规范 浆舟柄部口要求抬高在液面外,防止酸液进入中空部分;去离子水溢流冲洗操作规范 酸洗完毕后,先用去离子水冲洗几次,然后再浸泡在去离子水中,每两个小时换一次水,漂洗12小时,至水呈中性 .;操作规范;操作规范;干燥操作规范 把浆舟拿出来用氮气枪所有区域都吹干,然后安装在扩散炉上,推进石英管内150度烘烤4小时.;操作规范;操作规范;操作规范;;设备使用注意事项; 质量要求 清洗完的浆舟上不能有印痕。 碳化硅不能有破损。 柄部中空不能有酸,要清洗干净。;质??控制;注意事项;谢 谢

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