压阻应变片式压力传感器资料.pptVIP

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2017-05-16 发布于湖北
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压阻应变片式压力传感器资料.ppt

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第三章传感器;3.1　压力传感器;测压仪表的分类：　;3.1压力传感器;3.1压力传感器;3.1压力传感器;3.1压力传感器;图为膜片式应变片压力传感器，4个电阻全为工作片，全桥接法：知：ε2＝ ε4 ,ε1＝ ε3 ，且 ε1＝ ε3 ＝- ε2 ＝ - ε4 ＝ -ε 则： ;2.压阻式压力传感器压阻效应:半导体材料在受力时电阻率发生变化，这一特性称为压阻效应。 (硅、锗 / 石英片、压电陶瓷等）。电阻变化与应变值之间的关系：式中：灵敏系数， μ-应变材料的泊松比 L、ρ-分别为电阻丝的长度与电阻率 ;硅、锗等半导体材料组成的元件受到压缩或拉伸时，其电阻率ρ随应力( )的变化率远大于一般电阻材料的灵敏系数，因此，引起半导体材料电阻相对变化的主要原因是压阻效应：式中： —压阻系数；E—弹性摸量；σ ??应力； —应变上式表明压阻传感器的工作原理是基于压阻效应的。扩散硅压阻式传感器的基片是半导体单晶硅，单晶硅是各向异性材料，取向不同其特性不一样，而取向是用晶向表示的，所谓晶向就是晶面的法线方向。;3.1压力传感器;3.1压力传感器;3.1压力传感器;3.1压力传感器;3.1压力传感器;3.1压力传感器;3.1压力传感器;测量电路：恒压源：输出电压与成正比，输出电压受环境温度的影响. 恒流源：输出电压与成正比，环境温度的变化对其没有影响.;3.1压力传感器;3.1压力传感器;3.1压力传感器;3.1压力传感器;3.1压力传感器;3.1压力传感器;3.1压力传感器; 谢谢！