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第十一章 X射线光谱分析
第十一章 X射线光谱分析;第十一章 X射线光谱分析 ;电子探针(Electron Probe Microanalysis, EPMA)的主要功能就是进行微区成分分析。它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。 原理是：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长(或能量)可知元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。;1. 电子探针仪;第十一章 X射线光谱分析 ;2. 能谱仪;2. 能谱仪;2. 能谱仪;2. 能谱仪;第十一章 X射线光谱分析 ;电子探针激发出各个元素的特征X射线。波谱仪利用晶体衍射把不同波长的X射线分开，不同波长的X射线将在各自2θ方向上被检测器接收。 X射线探测器每接受一个X光子输出一个电脉冲信号，脉冲信号输入计数仪，提供在仪表上显示计数率读数。;3. 波谱仪;3. 波谱仪;3. 波谱仪;3. 波谱仪;第十一章 X射线光谱分析 ;4. WDS和EDS成分分析模式及应用;4. WDS和EDS成分分析模式及应用;点成分;线扫描;面分布 ;面分布 ;第十一章 X射线光谱分析 ;5. 波谱仪与能谱仪的比较;5. 波谱仪与能谱仪的比较;5. 波谱仪与能谱仪的比较 ;第十一章 X射线光谱分析 ;6. X射线光谱分析及应用;6.1 定性分析;6.2 定量分析
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