真空镀膜技术讲解.ppt

  1. 1、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
  2. 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  3. 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
真空镀膜技术讲解

真空与真空镀膜技术简介;一. 真空技术入门;真空量度单位 1标准大气压=760mmHg=760(Torr) 1标准大气压=1.013x105 Pa 1Torr=133.3Pa ;真空区域的划分 目前尚无统一规定,常见的划分为: 粗真空 低真空 高真空 超高真空 极高真空 ;真空技术的应用 电子技术、航空航天技术、加速器、表面物理、微电子、材料科学、医学、化工、工农业生产、日常生活等各个领域。;二. 真空获得—真空泵;真空泵的分类;真空泵的主要参数;极限压强 (极限真空) 最高工作压强 工作压强范围( ) 泵能正常工作的压强范围 几种常用真空泵的工作压强范围 旋片机械泵 吸附泵 扩散泵 涡轮分子泵 溅射离子泵 低温泵 ; 几种常用真空泵的工作原理 1. 旋片机械泵;旋片式机械泵;2. 油扩散泵;3.涡轮分子泵; 三. 真空的测量—真空计 1. 绝对真空计;2. 相对真空计;2.2 热阴极电离真空计 原理:电子与气体分子碰撞引起分子电离,形成电子和正离,电子最终被加速极收集,正离子被收集极接收形成离子流: I+ = kIep = cp 其中,k称为电离计的灵敏度,是单位电子电流、单位压强下的离子流。 测量范围:1.33×10-1 ~1.33×10-5 Pa 测量下限:高速电子打到加速极G → G产生软x射线 →软x射线射向收集极c → 收集极c产生光电发射 → 产生电子流Ix → Ix与I+方向相反,与压强无关。 ;电离计线路图;理论解释: 当p较高时,kx / p k,此时 当p很低时,kx / p k,此时 与压强无关 ;2.3 B—A真空计 (超高真空熱阴极电离计);四. 真空镀膜;真空系统(DM—300镀膜机);蒸发系统;蒸发源;膜厚的计算:; 设蒸发源为点蒸发源,单位时间内通过任何方向一立体角dω的质量为: 蒸发物质到达任一方向面积元ds质量为 设蒸发物的密度为ρ,单位时间淀积在ds上的膜厚为t, 则 比较以上两式可得 ;对于平行平面ds,φ=θ, 则上式为 由 可得 在点源的正上方区域 (δ=0)时,;薄膜厚度的测量;;谢 ??!

文档评论(0)

shuwkb + 关注
实名认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档