Track工艺设备培训资料讲解.ppt

Track 工艺设备培训资料;Glossary ( before you read this article );;1. ExcelinerTM 1800设备简介;;SCR的参数： Air curtain 高度 8±1mm Brush 转速：300-400rpm Brush 可在0-5mm范围上下调整。 BOE B3 的设备 Bubble rinseN2气体加泵加压。 Brush 上方Rinse：72±3mm 下部Spray距离上方：73mm Air knife：35° / heigh(gap):2-3mm(2.5±0.5mm) ;;① SCR;① SCR;SCR的排气部分;;② OVEN：Heat Bake;② OVEN：Col;Coater的结构：;;③ SLIT COATER;Head：;③ SLIT COATER;Obstruction detection unit:;③ SLIT COATER;Head wash unit: ;Panel damage detection unit: ;Coater chemical lines:;Coater机的状态间的切换;DP 的结构（单层）：;④ DP;BOE HE 将使用的DP有双层chamber,轮流使用。保证Tact time(110/2=55s);DEV 单元：;⑤ DEV;⑤ DEV;;2. ExcelinerTM 1800 安全教育;;;设备存在的危险;设备存在的危险;设备存在的危险;防护的措施:;3. ExcelinerTM 1800 软件界面;系统的权限;EC 界面;EC.菜单栏;EC.菜单栏.Recipe;EC.装置画面;EC.基板画面;SCR BCT 界面;SCR BCT 界面;SCR BCT 界面;I/F BCT 界面;I/F BCT 界面;Coater CMC HOP界面;Coater CMC HOP界面;Coater CMC HOP界面;Coater CMC HOP界面;Coater CMC HOP界面;Coater CMC HOP界面;4. 控制电力系统;设备控制;Block;HBCT;Service stop和C/V stop;设备电力;5. ExcelinerTM 1800 的维护;日常维护：;Coater的Head 拆卸操作;Coater的Head 拆卸操作;Coater的Head 拆卸操作;Coater的Head 拆卸操作;Coater的Head 拆卸操作;Coater. Head 的设置：Head的高度设置;Head高度的初始化设置;Uniformer Gap的检查和调节;