LPCVD实验预案Ver.docVIP

@Anwell P＆M Group  PAGE 19 Making the IMPOSSIBLE possible   PLACEHOLDER [Insert Date] \* MERGEFORMAT CZ815 Team LPCVD实验方案 目录 TOC \o 1-3 \h \u  HYPERLINK \l _Toc28487 第一章 绪论  PAGEREF _Toc28487 3  HYPERLINK \l _Toc21038 1.1理论综述  PAGEREF _Toc21038 3  HYPERLINK \l _Toc1126 1.2薄膜性能与测试项目  PAGEREF _Toc1126 3  HYPERLINK \l _Toc5995 1.2.1光学性能  PAGEREF _Toc5995 3  HYPERLINK \l _Toc29190 1.2.2电学性能  PAGEREF _Toc29190 3  HYPERLINK \l _Toc13603 1.3文献实验调研  PAGEREF _Toc13603 3  HYPERLINK \l _Toc2348 1.3.1温度对薄膜性能的影响  PAGEREF _Toc2348 3  HYPERLINK \l _Toc12896 1.3.2气体对薄膜性能的影响  PAGEREF _Toc12896 5  HYPERLINK \l _Toc3722 1.3.3腔室压强对薄膜性能的影响  PAGEREF _Toc3722 6  HYPERLINK \l _Toc23468 1.3.4厚度对薄膜性能的影响  PAGEREF _Toc23468 7  HYPERLINK \l _Toc21656 1.3.5退火对薄膜性能的影响  PAGEREF _Toc21656 7  HYPERLINK \l _Toc31056 1.4薄膜特性要求(初步要求)：  PAGEREF _Toc31056 8  HYPERLINK \l _Toc2916 第二章 初步测试性实验  PAGEREF _Toc2916 9  HYPERLINK \l _Toc2147 2.1实验目的  PAGEREF _Toc2147 9  HYPERLINK \l _Toc7140 2.2玻璃片传输的考虑  PAGEREF _Toc7140 9  HYPERLINK \l _Toc5462 2.3源的温度设定  PAGEREF _Toc5462 9  HYPERLINK \l _Toc21199 2.4源的稀释与载气设定  PAGEREF _Toc21199 9  HYPERLINK \l _Toc3046 2.5预加热实验  PAGEREF _Toc3046 9  HYPERLINK \l _Toc32586 2.6气体流量与温度实验  PAGEREF _Toc32586 10  HYPERLINK \l _Toc12186 2.7衬底温度实验  PAGEREF _Toc12186 11  HYPERLINK \l _Toc3047 2.8掺杂浓度实验  PAGEREF _Toc3047 13  HYPERLINK \l _Toc18743 2.9生长气压实验  PAGEREF _Toc18743 13  HYPERLINK \l _Toc3280 2.10水汽分压实验  PAGEREF _Toc3280 13  HYPERLINK \l _Toc14546 第三章 特定薄膜  PAGEREF _Toc14546 15  HYPERLINK \l _Toc21525 3.1实验目的  PAGEREF _Toc21525 15  HYPERLINK \l _Toc22883 3.2实验方式  PAGEREF _Toc22883 15  HYPERLINK \l _Toc25958 第四章LPCVD机台各腔室判定  PAGEREF _Toc25958 16  HYPERLINK \l _Toc18953 4.1实验目的  PAGEREF _Toc18953 16  HYPERLINK \l _Toc11470 4.2实验方式  PAGEREF _Toc11470 1