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ESD培训课程 课程目的 ESD( Electrostatic Discharge)是电子可靠性工程的重要组成部分,本教材全面系统介绍了ESD基本知识、ESD控制标准、ESD防护技术等ESD知识 通过学习可以理解ESD对电子产品的危害，明白ESD控制的重要性. 一、ESD基本知识 二、ESD标准和测试 三、ESD控制 接地线 接地线也称为地线母线。接地主干线的截面积应不小于100mm2，支干线的截面积应不小于6 mm2 ，设备和工作台的接地线采用截面积应不小于1.25mm2 的导线，并以黄绿色为宜。 接地线又分为硬接地和软接地。 硬接地----（hard ground）直接与大地电极作导电性连接的一种接地方式。 ? 软接地----（soft ground）通过一足以限制流过人体的电流达到安全值的电阻连接到大地电极的一种接地方式（软接地的漏电流不超过5MA，静电手腕带的泄漏电阻值应为1Mohm～100Mohm,静电泄放至100伏以下的时间小于0.1S)。 静电及静电放电 ● 静电：就是物体的表面一种处于相对稳定状态的电荷。 ● 静电放电（ESD）带有不同静电电位差,在物体或表面之间的静电电荷转移。分接触放电和电场击穿介质放电。 ● 静电过栽（EOS）导致电子元件损坏的结果。 静电的产生: 　 a) 摩擦带电：物质相互摩擦时，由于摩擦发生接触位置的移 动和电荷分离而放出静电。 　 b) 流动带电：用管路输送液体产生的静电。 　 c) 喷出带电：由粉体、液体和气体从截面小的开口部位喷出, 发生摩擦而产生静电；液体和粉体本身相互之 间的撞击,以及小的飞沫摩擦产生大量的静电。 　 d) 剥离带电：互相密切结合的物体被剥离时引起电荷分离而 产生静电 静电的特性 在3000伏时，你能通过皮肤感知 在5000伏时，你能听见 在10000伏里，你能看见 高电位：可达数万至数十万伏，人员操作时常达数百和数千伏（人通常对3.5KV以下静电不易感觉到） 低电量：静电流多为微安级（尖端放电例外） 作用时间短：微秒级 受环境影响大：特别是湿度，湿度上升则静电积累减少，静电压下降. 作业与静电 人体活动产生典型的静电电压(V) ESD的危害 　1、吸附灰尘→缩短产品寿命在旦夕 3、放电损伤→产品失效 4、电磁干扰→过程中断（不良数据、软件错误、校准失误、处理器停止运作） 硬损伤（致命损害）：表现为器件电参数突然劣化，失去原有功能。 软损伤（隐性损害）：受到软损伤的器件，虽然当时各类电参数仍合格，然而其使用寿命却大大缩短了 ESD失效：热熔化、介质击穿、ESD引发EOS 静电放电三要素 Q＋M ＋D=ESD “Q”：一定积累的静电荷 “M”：放电途径，如金属接触、对地或低阻的泄放路径 “Ｄ”：静电第三器件 “ＥＳＤ”就是放电（ＺＡＰ） 放电途径 电子产品失效情况 　 根据RAC的统计,在所有硬件故障中,ESD失效率占15%,而高静电敏感的器件EOS/ESD失效率高达60%左右. 　 ESD引起半导体器件操作，使器件立即失效的机率约10%(短路、开路、无功能、参数不符合要求），而90%的器件则是引入潜在性损伤,损伤后电参数仍符合规定要求，但减弱了器件抗过电应力的能力，在使用现场容易出现早期失效． 器件的ESD失效特征 　　　静电损伤是一种偶然事件，一般讲是与时间无关的，所以不能通过老化筛选方法加以剔除，相反，在老化过程中，由于器件接地不良，老化设备不适当的连接等，反而会提高ＥＳＤ失效的百分比。 一、ESD基本知识 二、ESD标准和测试 三、ESD控制 器件ESD敏感因素 ESD对半导体器件和电子产品都存在严重危害,ESD对电子产品和器件的可靠性影响的主要因素有:电场强度、放电电流、电磁干扰。 影响器件ESD敏感程度的因素包括：器件设计（结构和工艺）、ESD电流、能量包裹、电场强度、放电的上升时间、制造工艺和器件的封闭类型等。 能量型敏感器件的损伤是由于流过双极型结构电阻、保护电阻、薄膜电阻、金属连线等的过电流引起。——即电流过大