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通用微处理器等效老化试验方法8 焦慧芳1，2温平平1贾新章’王群勇2罗雯2 (1西安电子科技大学微电子研究所710071，2信息产业部电子第五研究所510610) 摘要：针对不同工艺、不同设计的同类集成电路等效老化的需要，提出了集成电路等效老化 的特征参数一一“归一化老化电流“指标a，并讨论了等效老化信号的确定原则。结合集成电路 和比较不同CPU的质量和可靠性提供了统一的试验平台。 关键词：微处理器(CPU)，等效老化，归一化老化电流，信号频率 The forthe Burn—inTestof Approach theUniversalCPU equivalent Jiao 2·2 Wen Jia LuoWen2 Hui—fang Ping-pin91Xing-zhan91WangQun—yon92 (tMicroelectronicsInstitute，Xidian University,Xi’an 510610) tothe for burn·intestforthesamekindof requirement Abstract：Accordingengineering equivalent Icwithdifferent and burn-incurrent”asthe processdesign．the“normalized the burn—in the testis determinantof of equivalent extracted，and parameter principle is as burn。in discussedwell．Asa schemeof burn—intestof signal specialexample，the equivalent withdifferent and CPU486s isdiscussed．Theuniform ofbum—intestis processdesign platform forthe and evaluationor ofdifferentCPU． quality comparison provided reliability burn—in burn·-in；normalized Keywortts：CPU；equivalent current；Signalfrequency 1引言 老化是一种能够将产品早期故障剔除的无损筛选试验技术。集成电路的老化过程实质上 就是通过对其施加应力，加速其内部潜在缺陷暴露的过程。经过老化，可以使有缺陷的集成 电路在上机使用前失效，从而保证了集成电路最终的使用可靠性‘”。老化的作用主要有两方面， 一是剔除有缺陷的、可能发生早期失效的产品，保证产品的使用可靠性；二是评估和比较不 +作者简介：焦