分子束外延系统选型手则.pptxVIP

DCA分子束外延及高真空薄膜沉积系统宇丰凯电子科技有限公司DCA 公司简介 DCA Instruments 是一家专业从事分子束外延（MBE）和超高真空薄膜沉积系统及组件的设计和制造的公司。DCA Instruments自1989年成立以来，已经在全球范围内安装了超过100套的超高真空系统。 DCA Instruments绝大部分的产品都是针对用户定制设计复杂的沉积系统,该公司许多的标准系统最初都是起源于针对某些客户对沉积过程特殊需求的解决方案,因此在标准系统制造业中有着深厚的为用户定制设计的背景，在用户中具有很好的声誉。DCA 公司主要产品(1)分子束外延系统（MBE） 所针对的材料l?GaAs、InP和GaSb外延l?HgCdTe外延l?GaN、InN和AlN外延l? Ⅱ-Ⅵ族外延l?SiGe外延l? 氧化物外延 特 点 l?专利的衬底操控器l?专利的长寿命和高稳定性泄流盒灯丝l? 泄流盒（包括灯丝）两年质保l? 高性能PBN/PG/PBN或SiC衬底加热器l? 快速反应的磁感线性快门l? 衬底加热器两年质保l?专利的磷裂解器l?复合的薄膜沉积MBE系统DCA 公司主要产品(2)物理气相沉积（PVD）系统 沉积方式l?磁控溅射l?脉冲激光沉积（PLD）l?电子束蒸发l?离子束沉积l?热蒸发 特 点l?具有独特磁体配置的高均匀度磁溅射源l?射频、直流、磁性材料和非平衡溅射l?抗氧化衬底加热器l?复合薄膜沉积的全自动溅射系统l? 全电脑控制的PLD系统可实现大区域沉积 主要产品介绍（1）R450(R450C) MBE系统l?最大3英寸样片l? 双区域液氮冷却板l? 8个泄流盒l?倾斜的腔室设计l? 15KeV RHEEDl? 500L/s 离子泵l? 8英寸低温泵l?500L/s 分子泵l?钛升华泵（TSP）l?带300L/s 离子泵的超高真空（UHV）缓冲室l?带分子泵的真空进片室主要产品介绍（2）P600 MBE系统l?最大4英寸样片l?双区域液氮冷却板l?10个泄流盒l? 垂直腔室l? 30KeV RHEEDl? 500L/s 离子泵l? 8英寸低温泵l? 1000L/s 分子泵l?钛升华泵（TSP）l? 带300L/s 离子泵的超高真空（UHV）缓冲室l? 带分子泵的盒式真空进片室主要产品介绍（3）M600 MBE系统l?最大4英寸样片l?液氮冷却板l?2个电子枪l? 最多可达8个泄流盒l? 垂直腔室l? 30KeV RHEEDl? 500L/s 离子泵l?8英寸低温泵l? 1000L/s 分子泵l? 钛升华泵（TSP）l? 带300L/s 离子泵的超高真空（UHV）缓冲室l? 带分子泵的盒式真空进片室主要产品介绍（4）SGC800 MBE 系统l?最大8英寸（200mm）样片l?液氮冷却板l?2个电子枪l? 最多可达6个泄流盒l?垂直腔室l?30KeV RHEEDl?500L/s 离子泵l? 8英寸低温泵l?1000L/s 分子泵l?钛升华泵（TSP）l?带机械式晶片传送的超高真空（UHV）套件l?带分子泵的盒式真空进片室主要产品介绍（5）SGC1000 MBE 系统l?最大12英寸（300mm）样片l?液氮冷却板l? 4个电子枪l? 最多可达6个泄流盒l?垂直腔室l? 30KeV RHEEDl? 800L/s 离子泵l? 10英寸低温泵l? 1000L/s 分子泵l?钛升华泵（TSP）l?带机械式晶片传送的超高真空（UHV）套件l?带分子泵的盒式真空进片室主要产品介绍（6） 迷你MBE系统l?最大1英寸样片l?液氮主冷却板l?16个泄流盒l?泄流盒被分为四组，每组四个， 每一组都有单独的阀门与生长腔隔离开l? ?15KeV RHEEDl? 300L/s 离子泵l?液氮冷却钛升华泵（TSP）l?带分子泵的真空进片室主要产品介绍（7）PLD500 脉冲激光沉积系统l?球形腔室l?6个1英寸目标固定器l?最大3英寸样片l? 最高温度可达1000℃ 的抗氧化加热器l? 520L/s分子泵l? 样片XY扫面l? 目标扫描l? 带分子泵的真空进片室l?可选超高真空组件l?可选高压RHEEDl?可选计算机控制主要产品介绍（8）S450溅射系统l?溅射器上或下配置的超高真空腔室l?最多可达6个磁电管l? 最大4英寸的磁性目标直径l?射频溅射l?直流溅射l? 二极管溅射l? 非平衡溅射l?最高温度可达1000℃的抗氧化加热器l?最大4英寸样片l?直流样片偏压l?520L/s分子泵l? 带分子泵的真空进片室l? 可选超高真空（UHV）组件l? 可选计算机控制主要产品介绍（9）L400溅射系统l?溅射器下配置的超高真空（UHV）腔室l?6个磁电管安装在一个可移动的线性手臂上l? 最大4英寸的磁性目标直径l? 射频溅射l?直流溅射l?