半导体材料之意义与种类何谓积体电路及其制程项目.pptVIP

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半导体材料之意义与种类何谓积体电路及其制程项目

半導體材料之意義與種類、何謂積體電路及其製程項目 指導教授:王文峰 學生:陳冠廷 學號 班級:四奈米四甲 大綱 一、半導體之意義 二、半導體材料的種類 三、何謂積體電路 四、積體電路製程項目 一、半導體之意義 二、半導體材料的種類 對半導體材料可以從不同的角度進行分類,其中比較通用的是按半導體的化學組成分類,分為元素半導體、化合物半導體、金屬氧化物半導體三大類。 元素半導體是由單一元素所構成的半導體材料。主要有矽、鍺、硒等,以矽、鍺應用最廣。 化合物半導體由二種以上元素的化合物所構成,分為二元系、三元系、多元系。二元系化合物半導體有Ⅲ-Ⅴ族(如砷化鎵、磷化鎵、磷化銦等)、Ⅱ-Ⅵ族(如硫化鎘、硒化鎘、碲化鋅、硫化鋅等)、Ⅳ-Ⅵ族(如硫化鉛、硒化鉛等)、Ⅳ-Ⅳ族(如碳化矽)化合物。三元系和多元系化合物半導體主要為三元和多元固溶體,如鎵鋁砷固溶體、鎵鍺砷磷固溶體等。 金屬氧化物半導體是由某種金屬氧化物所構成如:SnO2、ZnO、TiO2、Y2O5……。 三、何謂積體電路 所謂的積體電路,就是將依些構成電子裝置的元件,如電阻、電容及開關等,以矽或砷化鎵等半導體材料加已製作,並利用為穎等製程技術,將其原本厚重且體積龐大的裝置,縮小到大約只有1~2cm2大小,1mm厚的電子科技。 四、積體電路製程項目 製造積體電路的製程大致分為前段製程與後段製程兩個部份。 前段製程的目的是為了要在矽晶圓板上置入電晶體等元件與配線,因此必須按照程序經過幾種不同形式的製程,亦稱為擴散製程。 後段製程則是將以完成的矽晶圓板切割成晶片,取出其中品質好的晶片,並實際嵌入裝置後,在經由封裝製程所組成。 “Thanks for your attention” * * 前段製程 後段製程

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