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Roll to Roll 高效率真空濺鍍 軟性CIGS 太陽能電池 CIGS 薄膜太陽能電池 ： 真空生產吸收層的技術中，相對於共蒸鍍製 程，濺鍍製程在大面積以及均勻度的技術上較為 由銅(Cu) 、銦(In) 、鎵(Ga) 、硒(Se)四種原料組 成熟 。因此本文以全濺鍍製程舉例，說明軟性 成的CIGS 薄膜太陽能電池吸收光的波長範圍廣， CIGS 太陽能電池生產流程 。 因此太陽光利用效果佳，加上生產時能源消耗為 傳統矽基太陽能的一半，業界視為極具市場潛力 真空生產吸收層技術比較表 的產品 ，包含台積電、三星等國際大廠都陸續投 特性 共蒸鍍 濺鍍 入CIGS 薄膜太陽能電池的開發。 生產穩定度 高 中 大面積生產 有限 可行 軟性CIGS 太陽能電池優點 ： 膜厚均勻度 中 高 產量 低 高 1. 達15~20%的太陽光轉換率 設備成本 高 中 2. 吸收400~1200nm 的光利用率高 【CIGS 太陽能電池生產流程】 3. 可Roll to Roll 高效率生產 1. 濺鍍電極-Mo ：作為下電極 4. 發電效能不衰減穩定度高 ? 雷射劃線切割電極-Mo 5. 膜層厚度薄製造成本低 2. 濺鍍光吸收層-CIGS ：吸收太陽光 6. 輕薄可撓曲且不易碎應用廣泛 3. 濺鍍緩衝層- ZnS ：緩衝及協助電子傳導 太陽能電池技術比較表 ? 機械劃線切割吸收層與緩衝層 4. 濺鍍純氧化鋅層i-ZnO ：防止元件效能衰弱 特性 有機 軟性CIGS 矽基 5. 濺鍍透明導電層-AZO ：作為上電極及讓光穿 技 轉換效率 ~10% 15~20% 10~25% 透到吸收層 術 製程技術 塗布 鍍膜 長晶 ? 機械劃線切割氧化鋅層 6. 濺鍍抗反射層MgF2 ：減少反射提升光吸收量 成本 低 中 高 7. 濺鍍金屬導線Ni/Al 彎折程度 可撓曲 可撓曲 無 特 易碎程度 不易碎 不易碎 易碎 性 厚度 薄 薄 厚 重量 輕 輕 重 5.75~8.25μ m 軟性CIGS 太陽能電池生產流程 基板的選擇是軟性 CIGS 太陽能電池的關鍵， 其必須耐熱、抗化 、低硒化反