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Quality Management System
文件制訂/變更申請單
首次發行 修訂 廢止 品質手冊 作業程序 作業辦法 表單
文件名稱:
靜電放電防護管制作業程序
ESD Protection Control Procedure 文件編號:GQS-ZZ09-05 總版次:A5 申請單號:DDCN-11143 總 頁 數 : 9 頁 頁次 版次 修訂/變更前要點:
「靜電放電防護管制作業程序」QS-ZZ09-05。
修訂/變更後要點:
因應集團文件一致性作業要求,将文件转换为集团共用文件,以便後續維護和管理,因此将「」GQS-ZZ09-05。
1 A5 2 A5 3 A5 4 A5 5 A5 6 A5 7 A5 8 A5 9 A5 相 關 單 位 會 簽 核 准 審 查 編 撰 【文件發行日即生效日】 管理代表 品質管理處 品質管理處 發行章:
O-053F目的
為降低靜電敏感元器件及產品在公司內部流通過程中因受到靜電損害而影響產品品質,故制訂本程序以作為靜電防護管制的基本要求。
適用範圍
需進行靜電防護措施之物品、區域與單位。
職責
品質管理處
負責收集靜電放電國際/國內標準及客戶相關要求並公告、分享。
協助事業單位規劃靜電防護系統。
依照規劃週期稽核ESD防護作業的執行及改善追蹤。
行政管理處
負責建立正確的防靜電接地系統確保該系統適合相應的生產場地。(注意:因生產設備不同而要採用不同的防靜電接地系統如強磁場、強電場、高頻或微波設備場地要使用不同的防靜電接地系統。)
負責定期監測各事業處的防靜電接地系統確保防靜電接地系統的有效性、可靠性和安全性。
協助靜電防護工程鋪設竣工驗收。
事業單位
品保/品管
負責制定定期ESD防護稽核或確認計劃(至少每半年1次)。
執行現場ESD測試/防護要求的點檢。
靜電損害事件之追溯、調查、矯正與預防措施,作好記錄並存檔。
工程(開發)
負責將客戶靜電防護相關要求傳達給品質管理處。
負責將客戶靜電防護規格納入公司內工程規範標準。
製造/制工
制定需靜電防護產品之標準作業規範(SOP)的操作標準、操作規範和注意事項。
依SOP規定進行正確作業以免造成靜電損害。
負責事業處(部)靜電防護規劃與維護及靜電防護佈局圖制定。
負責靜電防護工程鋪設竣工驗收。
倉庫/物流
正確理解ESDS的保管條件,執行ESDS倉庫內靜電防護的措施和相關的管理制度。
靜電敏感元器件的標示和隔離。
靜電敏感元器件的貯位、數量、發放、領用的正確性。
定義
靜電放電(ESD: Electrostatic Discharge)
靜電放電是指兩個有不同靜電電位的物體由於直接接觸或靜電場感應引起的兩物體間的靜電電荷的轉移現象。(當靜電能進入或接近敏感組件時會造成元器件的損壞 )
靜電敏感組件(ESDS: Electrostatic Discharge Sensitivity Device)
在常規處理、測試或運輸中可能會受到靜電場或靜電放電損害的分立器件、集成電路或組件(ESDS)。靜電敏感器件主要是超大規模集成電路特別是金屬化膜半導體(MOS電路)。可根據ESDS分級表(附件二)針對不同的ESDS採取不同的靜電防護措施。
靜電防護區(EPA: ESD Protective Area)
配備各種防靜電設備和器材能採用靜電控制工藝限制靜電電位並具有確定邊界和專門標記的適於對靜電敏感器件作業的場所即為靜電防護區。靜電防護區應劃定區域設有區域性標誌室溫一般設定為 23±5℃相對濕度為 45-75%RH。
接地(grounding)
接地是指電氣連接到能供給或接受大量電荷的物體(如大地運載工具外殼等)。可分為硬接地和軟接地兩種:硬接地是指直接與大地電極作導電性連接的接地方式;軟接地是指通過一個足以限制流過人體的電流達到安全值的電阻連接到大地電極的接地方式。
作業流程:無。
作業內容
靜電敏感組件 ( ESDS )管理
ESDS 進料管制
IQC必須能識別防靜電保護包裝以及防靜電標簽、標誌。ESDS 進廠時要用導/抗靜電包裝(防靜電託盤器皿、透明靜電硬塑料管、導
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