曝光原理与曝光机讲解.pptVIP

* Liquid photoresist: 0.8mil (20um) / 8~12um = solder mask / inner? 二液型? Acrylic Based, Epoxy Based * Source相同，反射物不同? * 電壓 功率 精密 價格 光源 水銀燈 || /\ || || 散射 汞氙燈 || || || || 平行 毛細燈 \/ || \/ \/ 散射? * Y axis unit： Filter後之效果比較： * UV 均勻分佈? P.36 * Scattered light = flood? * Undercutting ray = CHA + DA? solution? * Reflection mirror: opposite side? 電路板曝光所使用的大面積平行光系統，是應用拋物面反射的原理，首先使用橢圓集光器聚集由汞氙短弧燈點光源所發出的光線 集光後所產生的光柱，經冷光鏡反射去除掉大部分紅外線及可見光的熱能後 再使用光學積光器修正並消除光柱中角度過大的光線，使成為平行反射鏡焦點上的虛擬點光源 經平行反射鏡反射後照射到曝光檯面上的UV光就是平行光 * 均勻分佈? Limit cells? 有效區域：550 * 650 * 高平行度光：斜射角1.5°，平行半角1.5° 平行半角：小孔相機? * Highest what? High-Low / High+Low? Atan ( A / L )?? 乾膜基本要求±10%? 5kW：80%? * 使用中? * 目的：決定最佳曝光能量? 每次曝光前皆需量測? * OD 0.15 = 41%透光率? 第1格：入射光 = 穿透光? * 11/50 曝光光源種類 散射光 Flood 毛細燈 Capilary 長弧燈 Long Arc 平行光 Collimated 短弧燈 Short Arc 點光源 Point Source 短燈管 UV 無電極點光源 Microwave 激發 UV 燈 11/50 各種 UV 曝光燈管 Capillary: 毛細燈 線路曝光用/ 3, 5 Kw Short Arc:汞氙短弧燈 平行光曝光用/ 3.5, 5, 8 Kw Long Arc: 水銀燈/金屬鹵化物燈 防焊曝光用/ 7, 8, 9, 10 Kw 11/50 各種UV燈管光譜分佈比較 水銀燈 金屬鹵化物燈 毛細燈 汞氙燈 光阻聚合365nm 11/50 水銀的特性光譜線 Energy (eV) 185 365 577~9 313 297 546 436 405 254 0 1 2 63P 61P1 63D 73S 5 10 Ionization i-line:365nm g-line:436nm h-line:405nm 11/50 焦點散漫, UV 均勻分佈, 強度較弱 散光型反射燈罩 11/50 散射光對曝光影響 11/50 不同光源對光阻曝光影響 平行光 CHA; 1.5~2.5? DA: 1~2? 點光源 DA: 5~12? 散射光 DA: 10~25? 11/50 如何產生平行光 平行光產生方式 增加光源至照射面距離 利用拋物體燈罩反射點光源 利用拋物面鏡反射點光源光柱 利用鏡組折射點光源光柱 汞氙短弧燈 11/50 平行光曝光系統 平行反射鏡(Collimation Mirror) 曝光照射面(Exposure Surface) 反射鏡 (Reflection Mirror) 點光源短弧燈 (Short Arc Lamp) 橢圓集光器(Collector) 冷鏡 (Dichroic Mirror) 積光器(Integrator) 平行光源: 5KW汞氙短弧燈 平行半角(CHA): 1.5? 斜射角(DA) 1? 11/50 Integrator (Flyeye) 積光器作用 11/50 平行半角與斜射角 平行半角 Collimation half angle 光柱擴散角度 斜射角 Declination angle 光柱與法線夾角 11/50 平行半角與斜射角量測 平行半角與斜射角測量 量測規目測 熱感紙測量 UV光 11/50 曝光量測 11/50 UV曝光測量單位 UV強度(照度)單位 Intensity (Irradiance): watt/cm2, milli-watt/cm2 單位面積上的功率 UV能量(劑量)單位 Energy (Dose): joule/cm2, milli-joule/cm2 單位面積上所接受的能量，與時間有關 在 1 mw/cm2 下照射 1 秒 = 1 mj/cm2 是強度對時間曲線下的