XDZB2016-A-030厦门大学材料学院磁控溅射仪-厦门大学资产处.doc

厦 门 大 学 招 标 文 件 采购项目 厦门大学材料学院 磁控溅射仪、热蒸发镀膜装置 采购编号：XDZB2016-A-030 厦门大学招投标中心 2016年11月3日 第一章 投标邀请 厦门大学招投标中心现进行以下项目的招标，欢迎具备相应资格条件的供应商参加投标。 招标编号：XDZB2016-A-030 招标项目：厦门大学材料学院磁控溅射仪、热蒸发镀膜装置 供货地点：厦门大学思明校区材料学院新楼303 招标预算：80万元（最高限价） 投标截止和开标时间：2016年11月23日上午9点 报名截至：投标人必须在至20年月日点，以传真方式进行报名，逾期视为放弃竞标机会 传真：0592-2181872、2181873、2186100转608 厦门大学招投标中心 2016年11月3日 采购项目说明及要求 采购项目说明 序号 货物名称 参考技术参数及说明 数量 1 磁控溅射仪 系统需由溅射室、永磁磁控溅射靶（三个靶）、直流电源、全自动匹配射频电源、样品台、样品加热炉、泵抽系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等主要部件组成。 沉积室：圆筒形上开盖结构，样品台在下，靶在上结构 沉积阴极：数量3个，至少4英寸，分布在一个圆周上，各阴极可独立/顺次工作工件架上至少一次可放置6块4英寸片，样品可以公转和自转，共有6个工位，在公转到位和连续公转，公转到位时有位置定位装置，每个工位可同步自转，样品可加热，样品加热温度室温到600℃可控可调，并由热电偶闭环反馈控制。 光加热系统：1套 直流电源：2台， 进口射频电源 ：1台 进口分子泵： 插板阀：CF200气动 极限真空： 6.6×10-6pa 系统真空检漏漏率： 5.0×10-7Pa.1/s，系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa 镀膜不均匀性：4英寸样品镀膜不均匀性≤±5% 配备相应靶材：Al，Ti，Cu，Ni，厚度8mm。 2 热蒸发镀膜装置 1. 蒸发室极限真空度：≤2.0x10-5 Pa 2. 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S 3. 系统从大气开始抽气： 30分钟可达到6.6x10-4 Pa； 4. 系统停泵关机12小时后真空度：≤10Pa 5. 基片台加热温度：室温到300度 1套 注：①以上仪器如有参考型号，也只是提供欲采购仪器的大致性能、技术参数等以供参考。各投标方可根据提供的技术参数要求推荐其他性能优于参考规格和技术参数的、性价比更具优势的仪器参与投标； ②以上标*项的参数为重要技术参数，不满足的产品用户可不予采用。 二、投标要求 在满足招标技术参数前提下，投标人可提供更高的配置，并在技术偏离表中注明。 投标人必须为投标产品的制造商、经销商或代理商，投标人为经销商、代理商的，必须提供设备原厂商针对此次投标的专项授权书原件、原厂商售后服务承诺原件等证明材料。一家厂家只能授权一家代理商进行投标。 供应商必须承诺提供原厂安装、集成及调试服务。 供应商必须提供详细产品配置及彩图。供应商所提供的货物必须是全新的原装正品，每个包装箱内的清单、中文使用说明书、质量证书、保修卡等所有资料应齐全。 投标人必须提供投标人营业执照有效复印件以及投标人法定代表对投标代表的授权书原件。 投标文件必须包含投标书、开标一览表、投标货物简要说明一览表、售后服务承诺、投标产品的投标授权书（投标人为经销商或代理商）及本招标文件要求的其他主要内容，以上材料均须加盖投标人公章。 在本地区应设有售后服务维修机构，厂家或授权经销商应建立定期回访制度，投标文件中须有关售后服务方面的陈述。 三、投标报价要求 投标总报价为本次招标货物安装调试完毕，经用户验收小组验收合格并交付使用所有可能发生的费用，包括货物制造、运输、采购保管、产品检验检测、安装调试、施工配合费、税收以及售后服务等费用。 四、合同签订 中标供应商接到中标通知后，持中标通知书与用户签订技术和服务协议后再和厦门大学资产与后勤事务管理处签订合同。招标文件、中标供应商的投标文件及其澄清文件均作为签订技术和服务协议、合同订立的基础。 五、验收条件 安装前，采购人用户对货物的品牌、数量、包装等方面进行验收。供应商提供的所有单独包装的货物均应具有原始的完好的标准包装。如遇交付前已拆封的货物，采购人用户有权拒绝或要求更换。 采购人用户根据货物装箱单进行货物主件及附件等的验收。供应商交货时，必需提供所有产品原厂或总代理出具的供货证明。 中标供应商根据招标要求进行设备安装、调试后，由采购人用户进行使用性能方面的验收。 验收时中标供应商代表必须在场。验收合格后，中标供应商凭用户出具的验收合格书