863计划先进制造技术领域极端制造技术专题2006年度立项课题清单.docVIP

863计划先进制造技术领域极端制造技术专题2006年度立项课题清单 课题编号 课题名称 课题负责人 课题依托单位 2006AA04Z301 CMOS兼容MEMS设计工具框架与设计流程开发及其在RF MEMS设计中的应用 郝一龙 北京大学 2006AA04Z302 MEMS系统级设计方法及与IC设计接口研究 李伟华 东南大学 2006AA04Z303 典型微器件的综合设计方法与模型的研究 王安麟 同济大学 2006AA04Z304 基于IP库的通用MEMS器件可视化仿真与验证工具 赵　新 南开大学 2006AA04Z305 生物微纳流控系统设计软件开发 左春柽 吉林大学 2006AA04Z306 支持任意流程的MEMS设计工具关键技术研究 常洪龙 西北工业大学 2006AA04Z307 飞秒激光生物分子微纳加工技术与系统装备研发 周　明 江苏大学 2006AA04Z308 非硅表面微加工与柔性衬底技术 丁桂甫 上海交通大学 2006AA04Z309 基于DPN（Dip-pen Nanolithography）的纳米锡焊技术研究 郭守武 华东理工大学 2006AA04Z310 基于Super Lens的纳米光刻技术 罗先刚 中国科学院光电技术研究所 2006AA04Z311 基于超快激光的非硅三维微纳米加工技术 王　翔 中国科学技术大学 2006AA04Z312 基于多孔硅的CMOS兼容体硅MEMS集成制造技术研究 焦继伟 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 2006AA04Z313 基于激光微熔覆的MEMS集成制造技术研究 胡乾午 华中科技大学 2006AA04Z314 基于金刚石超精密切削的三维微小结构表面加工技术 周　明 哈尔滨工业大学 2006AA04Z315 基于新型聚合物的生物MEMS加工技术研究 金玉丰 北京大学 2006AA04Z316 金属箔板的精密微冲压成形技术 郭　斌 哈尔滨工业大学 2006AA04Z317 金属合金材料的交叉融合型高深宽比阵列微细加工技术 李　勇 清华大学 2006AA04Z318 金属基亚微米结构紫外激光刻蚀技术与系统 陈林森 苏州苏大维格数码光学有限公司 2006AA04Z319 具有热净化功能双模块集成湿度传感器技术研究 金建东 中国电子科技集团公司第四十九研究所 2006AA04Z320 面向CNT-FET装配的纳米制造技术 朱　枫 中国科学院沈阳自动化研究所 2006AA04Z321 摩擦副表面微小凹坑阵列的微细电化学制造技术研究 王晓雷 南京航空航天大学 2006AA04Z322 柔性基宏电子制造中微结构的大面积逆压印技术 丁玉成 西安交通大学 2006AA04Z323 微小零件的微细电火花-电解组合加工技术研究 王振龙 哈尔滨工业大学 2006AA04Z324 温度场设计嵌段共聚物模板纳米加工技术 王　铀 哈尔滨工业大学 2006AA04Z325 高深宽比微纳深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量方法与设备 刘世元 华中科技大学 2006AA04Z326 面向非硅微结构的基础力学特性的微拉伸测试方法及设备 汪　红 上海交通大学 2006AA04Z327 微结构的多尺度光学测试技术及系统 胡小唐 天津大学 2006AA04Z328 MEMS感应局部加热封装设备研制 陈明祥 华中科技大学 2006AA04Z329 基于超声辐射力的微纳构件三维遥操纵关键技术研究 杨克己 浙江大学 2006AA04Z330 基于生物可降解材料的微结构制造系统关键技术研究 陈天宁 西安交通大学 2006AA04Z331 基于微塑性成形技术的微型零件批量制造系统 单德彬 哈尔滨工业大学 2006AA04Z332 集成式桌面型微细电加工机床 赵万生 上海交通大学 2006AA04Z333 可控面形的非球面微透镜阵列制造技术 王克逸 中国科学技术大学 2006AA04Z334 六维微位移、力全反馈纳米压印装备的关键技术与应用研究 刘品宽 上海交通大学 2006AA04Z335 微小非球面超精密复合加工机床原型样机研制 尹韶辉 湖南大学 2006AA04Z336 超高频体模式谐振器及其传感系统平台技术研究 于晓梅 北京大学 2006AA04Z337 电磁波和振动双供能微发电机 文玉梅 重庆大学 2006AA04Z338 复合结式微型放射性同位素电池 苑伟政 西北工业大学 2006AA04Z339 高Q值新型RF NEMS 模块－滤波器的研制 宁　瑾 中国科学院半导体研究所 2006AA04Z340 高精度微型固态三维方向传感器 林新华 中国科学院合肥物质科学研究院 2006AA04Z341 高精度微型谐振式磁敏感器研究 任大海