多功能型光电子能谱仪详细配置及技术指标.docVIP

多功能型光电子能谱仪详细配置及技术指标 一、系统主要结构和功能要求 仪器主体为两室结构，分别是分析室和样品制备室兼快速进样室； 超高真空分析室内应实现单色化XPS、双阳极XPS、成像XPS、深度剖析XPS、离子散射谱ISS、能量损失谱REELS、紫外光电子能谱（UPS）、自动化五轴样品台及样品加热等功能；配备独立的从粗真空到超高真空抽气系统； 样品制备室应实现样品的大束斑离子清洁、至少三个样品托的停放台以及超高真空监测等功能；配备独立的从粗真空到超高真空抽气系统； 二、系统各部分详细配置及相应要求： 1. 分析室 1.1 真空腔及抽气系统 1.1.1 真空腔为纯μ金属制造，外径不低于300mm； 1.1.2 抽气系统为钛升华泵、磁悬浮涡轮分子泵以及机械泵各一套； 1.1.3 烘烤12小时并完成除气，抽气48小时后，系统本底真空优于5.0x10-10 mbar; 1.2 能量分析器 1.2.1 180ο半球能量分析器，半径不小于150mm； 1.2.2 能量扫描范围为0~5000 eV； 1.2.3 外罩为纯μ金属制造； 1.3 探测器 1.3.1 电子倍增器,用于XPS能谱； 1.3.2 微通道板探测器，用于XPS成像，可实现小于6μm成像区域的能谱获取； 1.4 单色化X射线源 1.4.1 微聚焦单色化Al Kα X射线源; 1.4.2 束斑面积从900μm到200μm连续可调； 1.4.3 最优能量分辨率：对Ag3d5/2峰，半高宽优于0.45 eV； 1.4.4 大束斑灵敏度：对Ag3d5/2峰能量分辨优于0.5 eV时，灵敏度（要求为常规工作条件下实际值）应好于400k cps； 1.4.5 60μm束斑灵敏度：对Ag3d5/2峰的能量分辨优于0.5 eV时，灵敏度（要求为常规工作条件下实际值）应好于20k cps； 1.4.6 20μm 束斑灵敏度：对Ag3d5/2峰的能量分辨优于0.5 eV时，灵敏度（要求为常规工作条件下实际值）应好于500 cps； 1.5 双阳极X射线源 1.5.1 Al/Mg双阳极Al Kα X射线源，单源功率均不低于400W； 1.5.2 对Ag 3d5/2峰，能量分辨优于0.8eV时，灵敏度优于650,000 cps 1.5.3 另提供高能X射线源Zr/Ti双阳极靶材一套，实现高能XPS以及高能XAES； 1.6 成像XPS 快速平行成像，对Ag3d5/2，线扫描的最佳空间分辨率优于3 μm； 1.7 超高真空监测装置 1.7.1 可实现大气至10-10mbar范围的连续真空测量； 1.7.2 系统软件可显示系统真空压力值； 1.8 离子散射谱ISS 在1 keV He离子作用于清洁金表面，能量分辨优于15eV时，灵敏度应优于20,000 cps/nA； 1.9 电子能量损失谱REELS 分析室可实现电子能量损失谱配置，电子枪发射的电子最高能量应不低于1000eV，能量分辨率优于0.5eV; 1.10 深度剖析离子枪 1.10.1 工作气体为He、Ar或Ne； 1.10.2 离子能量100 eV ~ 3000 eV连续可调； 1.10.3 3keV情况下，束流应高于6 μA； 1.10.4 在2.5uA和4keV时，束斑直径应不高于200 μm； 1.10.5 差分抽气，离子枪工作时，分析室内真空度优于3.0x10-7 mbar； 1.10.6 可通过离子束流的偏转和扫描，实现Ar离子致SEM谱； 1.11 样品台 1.11.1 轴向：轴样品台，即X、Y、Z移动倾斜 1.11.2 移动：X方向50 mm，Ymm，Z方向10 mm； 1.11.3 移动精度μm； 1.11.4 倾斜：以水平方向为轴-90o～＋60o 1.11.5 通过样品实时图像上，可通过鼠标点击实现样品台的移动； 1.11.6 加热和冷却：可实现最高600K的加热以及最低170K的冷却； 1.12 电荷中和系统 对PET绝缘样品，在O-C=O结构中C1s峰能量分辨(FWHM)优于0.82 eV时，C-C结构中C 1s峰的灵敏度（要求为正常工作条件下的真实测量值）优于60,000 cps； 1.13 样品观察 1.13.1可变焦CCD摄像头电视显示系统um~3mm区域图象； 1.13.2 分析室需具备CF75观察视窗两个，并装有防X射线玻璃； 1.13.3 观察窗口法线方向需位于水平线以上，以方便观察。 1.14 俄歇电子能谱（AES） 1.14.1电子枪：场发射； 1..2系统配有满足绝缘样品AES电荷中和需要的离子中和源 1.14.3 空间分辨率，10keV／nA时优于nm； 1.14.4