电子工业超纯水工艺特点对比分析.docxVIP

电子工业超纯水工艺特点对比分析 　　电子工业超纯水(水中导电介质、胶体物质、无机物等简直全部往除的水)处理(经由过程物化方法往除水中一些物质的过程)设备 采用两级反渗透主机加EDI纯水系统(电阻率请求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的超纯水)(电往离子(又称填充床电渗析EDI纯水系统(电阻率请求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的超纯水)/CDI纯水设备(实用于制备电阻率请求很高的纯水系统))(Electrodeionization)的简称)。 　　一.电子行业制备超水的工艺年夜致分红以下几种： 　　1、采用离子交换树脂(用化学法将高分子共聚物制成的无机单体颗粒的离子交换剂)(普通也称离子交换树脂(用化学法将高分子共聚物制成的无机单体颗粒的离子交换剂))(用化学法将高分子共聚物制成的无机单体颗粒的离子交换剂)(又称离子交换剂)制备超纯水(水中导电介质、胶体物质、无机物等简直全部往除的水)的传统水处理(经由过程物化方法往除水中一些物质的过程)方法， 　　其基础工艺流程为：原水→沙炭过滤器(保送介质的管道中清除介质中杂质的一种过滤装置)→慎密过滤器(或称保安过滤器)(保送介质的管道中清除介质中杂质的一种过滤装置)→原水箱→阳床→阴床→混床(混杂离子交换柱(承装混床树脂(普通也称离子交换树脂(用化学法将高分子共聚物制成的无机单体颗粒的离子交换剂))的容器)的简称)(复床)→纯水箱→纯水泵(把原念头的机械能变为水能量从而达到抽送水的机械)(吸进和排出流体的机械)→后置慎密过滤器(或称保安过滤器)(保送介质的管道中清除介质中杂质的一种过滤装置)→用水滴 　　2、采用反渗透水处理(经由过程物化方法往除水中一些物质的过程)设备与离子交换(利用交换剂中的离子与稀溶液中的离子停止交换,以提纯或往除离子的过程)(经由过程离子交换的方法制取纯水、高纯水的装置)停止组合的方法， 　　其基础工艺流程为：原水→沙炭过滤器(保送介质的管道中清除介质中杂质的一种过滤装置)→慎密过滤器(或称保安过滤器)(保送介质的管道中清除介质中杂质的一种过滤装置)→原水箱→反渗透(借助于半透过膜的膜分别技巧)(经由过程反渗透膜(利用反渗透事理停止分此外液体分别膜)法来制取纯水的装置)→混床(混杂离子交换柱(承装混床树脂(普通也称离子交换树脂(用化学法将高分子共聚物制成的无机单体颗粒的离子交换剂))的容器)的简称)(复床)→纯水箱→纯水泵(把原念头的机械能变为水能量从而达到抽送水的机械)(吸进和排出流体的机械)→后置慎密过滤器(或称保安过滤器)(保送介质的管道中清除介质中杂质的一种过滤装置)→用水滴 　　二.三种制备电子工业用超纯水(水中导电介质、胶体物质、无机物等简直全部往除的水)的工艺比拟今朝制备电子工业用超纯水(水中导电介质、胶体物质、无机物等简直全部往除的水)的工艺基础上是以上三种，其他的工艺流程年夜都是在以上三种基础工艺流程的基础长停止分歧组合搭配衍生而来。现将他们的优毛病分辨列于下面： 　　1、第一种采用离子交换树脂(用化学法将高分子共聚物制成的无机单体颗粒的离子交换剂)(普通也称离子交换树脂(用化学法将高分子共聚物制成的无机单体颗粒的离子交换剂))(用化学法将高分子共聚物制成的无机单体颗粒的离子交换剂)(又称离子交换剂)其长处在于初投资少，占用的处所少，但毛病就是需要常常停止离子再生，耗费年夜批酸碱，而且对情况有必定的损坏。 　　2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换(利用交换剂中的离子与稀溶液中的离子停止交换,以提纯或往除离子的过程)(经由过程离子交换的方法制取纯水、高纯水的装置)，其特点为初投次比采用离子交换树脂(用化学法将高分子共聚物制成的无机单体颗粒的离子交换剂)(普通也称离子交换树脂(用化学法将高分子共聚物制成的无机单体颗粒的离子交换剂))(用化学法将高分子共聚物制成的无机单体颗粒的离子交换剂)(又称离子交换剂)方法要高，但离子设备再生周期相对要长，耗费的酸碱比纯真采用离子树脂(普通也称离子交换树脂(用化学法将高分子共聚物制成的无机单体颗粒的离子交换剂))的方法要少良多。但对情况仍是有必定的损坏性。 　　离子交换法可以获得十几MΩ的去离子水。但有机物无法去掉，TOC和COD值往往比原水还高。这是因为树脂不好，或是树脂的预处理不彻底，树脂中所含的低聚物、单体、添加剂等没有除尽，或树脂不稳定，不断地释放出分解产物。这一切都将以TOC或COD指标的形式表现出来。例如，当自来水的COD值为2mg/L时，经过去离子处理得到的去离子水的COD值常在5-10mg/L之间。当然，在使用好树脂时会得到好结果，否则就无法制备超纯水了。 　　电渗析法，产生于1950年[4]，由于其能耗低，常作为离子交换法的前处理步骤。它在外加直流电场作用下，利用阴阳离子交换膜分别