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半导体与光电厂务设施

半導體與光電廠務設施 壓縮空氣系統 內容綱要 壓縮機的分類 乾燥原理 乾燥機的分類 壓縮空氣系統 壓縮機的分類 依壓縮方式~動力式與排量式 動力式~機械式(離心或軸流型)及流力式 排量式~旋轉機或往復機 壓縮機的分類 壓縮機的適用範圍 壓縮機的適用範圍 旋轉式壓縮機的適用範圍 螺旋壓縮機分類 油浸式壓縮機 提供機殼與轉子間之填封 潤滑陰陽螺紋 吸收壓縮熱 無油式壓縮機 提供高品質無油壓縮空氣 減輕維修保養負荷 微油式或水潤滑式壓縮機 水封式壓縮機 離心式空壓機 軸流式與離心式空壓機比較 離心壓縮機的性能曲線 壓縮機的功輸出 冷凍式乾燥機流程 無熱再生式乾燥機流程 外部加熱再生式乾燥機流程 * * 風機與壓縮機 往復壓縮機的適用範圍及缺點 離心式空壓機構造 壓縮機的功輸出 壓縮機的效率比較 螺旋式壓縮機的效率曲線 壓縮機的負載需求 需冷卻水Ready 需冷卻水,冰水系統及PCW系統Ready 需冷卻水及冰水系統Ready 操作彈性 較佳 較差 較差 節能性 差 佳 佳 水質控制 無 較不嚴重 較嚴重 結露問題 出風溫度高, Dryer負荷大 次低, Dryer負荷少 最低, Dryer負荷最少 出風溫度 30~35oC 15~20oC 5~7oC 水溫 冷卻水冷卻 PCW冷卻 冰水冷卻   空壓機各種不同冷卻方式之比較

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