分子泵选型、应用和维护[精选].ppt

中科科仪分子泵产品介绍钱 浩 内容 中科科仪分子泵发展历程 分子泵原理、结构 分子泵应用及选型 分子泵使用及维护 二、分子泵原理、结构 分子泵原理 分子泵是一种动量型真空获得设备，在分子流态下，气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量，从而使气体分子得到逐级压缩，最后被抽除。 复合分子泵典型的抽速曲线 KYKY分子泵型号及意义 KYKY分子泵种类 产品的生产与制造过程 四、分子泵的使用及维护 四、分子泵的使用及维护 四、分子泵的使用及维护 四、分子泵的使用及维护 四、分子泵的使用及维护 四、分子泵的使用及维护 四、分子泵的使用及维护 四、分子泵的使用及维护 四、分子泵的使用及维护 四、分子泵的使用及维护 分子泵选型及注意事项 满足系统的本底压强（极限）的要求 系统的极限压强除与分子泵的极限压强有关外，与排气时间、腔室材料、法兰连接形式、清洁程度、是否烘烤等诸多因素有关。 同一型号的分子泵在极限指标方面有微小差异，差异一般不会高于半个量级。 安装方式方面的考虑 三、分子泵应用及选型 分子泵选型及注意事项 注意分子泵正常工作时所需的入口、出口压强等工作条件 在高压强段（1Pa左右）需较大排气能力时，可考虑选用复合型分子泵 若关心对某种气体的抽除能力（如该种气体的分压强值），还要注意分子泵对该气体的抽速、压缩比等参数。 三、分子泵应用及选型 使用——总体安装注意 安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。 打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。 安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。 确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网。 确认已装入润滑油。 安装方向：油绳润滑：竖直、水平； 油润滑： 竖直方向±5°范围内； 脂润滑： 任意角度 使用——油池安装 拆下注油 油量控制 油池卫生，防颗粒 对好、对称上紧螺钉，防止有漏 四、分子泵的使用及维护 使用——进出口法兰、冷却水安装 泵入口：对正、对称拧紧 泵出口：防止错位 冷却水：无漏水 入口水压0.2MPa 水温20±５℃ 水质澄清无沉淀 高真空口对称均匀拧紧 高真空口对称均匀拧紧 前级拧紧无泄漏 循环水 不滴漏 注意： 环境温度 风冷需小于32℃;水冷可至40℃ 入口压强 强制风冷0.1Pa;自然风冷0.01Pa 使用——电缆安装 对正槽口插入 用螺母拧紧，边插边拧 检查到位 电缆线拧紧不松动 使用——分子泵启动 a. 启动条件： 连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度 b. 启动时间： 同时启动——小系统，防前级泵油上返。 延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵，至系统压强P=200Pa时，启动分子泵。 使用——烘烤 a. 10-4Pa的真空系统，原则上不必烘烤。 b. 10-6Pa的真空系统，系统本身需要烘烤。 c. 最好用分子泵本身附带的加热装置。若要自己缠加热带烘烤，注意温度要小于100℃ d.烘烤应在分子泵运转情况下进行。 e.烘烤时间4h。 使用——振动隔离、冲击防护 分子泵振动极小，可直接接于被抽系统。 对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使 用隔振器，以便最大可能的减少振动。 冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑 机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等） 气体振动（气量突变、压强突变） 意外振动（掉入异物、碰撞等） 注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。 使用——振动隔离、冲击防护 四、分子泵的使用及维护 使用——振动隔离、冲击防护 四、分子泵的使用及维护 使用——振动隔离、冲击防护 分子泵大全 1977年：研制成功国内第一台立式F450涡轮分子泵，通过科学院鉴定。 1983年：F110涡轮分子泵通过中科院鉴定，首批应用于正负电子对撞机。 1986年：FF500复合型分子泵。 1993年：F1500涡轮分子泵，F150检漏仪用涡轮分子泵。 1999年： F3500涡轮分子泵。 2000年： FF620复合分子泵进入市场。 一、中科科仪分子泵的发展历程 2001年：系列防腐蚀分子泵进入市场。 2002年： FF1200复合分子泵进入市场。 2003年：系列任意角度安装分子泵进入市场。 2004年：抗冲击（整体涡轮转子）分子泵。 2005年： FF700任意角度安装分子泵。 2006年： FD-II电源、FF1600分子泵、FF1300任意角度安装分子泵。 2007年：FF180