《扩散工序指导书.docVIP

必威体育官网网址 级别 C 文件 种类 作业指导书 文件 编号 LW－PT3－013－A0 编制 部门 工艺技术部 编制 审核 批准 管理 100M W扩散工艺作业指导书 1 目的 为了使扩散车间各工序操作标准化，明确规定了超净车间各岗位的工艺操作权限。 2 适用 100MW电池生产线扩散工序。 3 定义 无 4 职责和权限 4.1 生产员工：若无工艺工程师许可严禁擅自对任何工艺参数进行修改与调整。 4.2 操作员 4.2.1 在工艺工程师授权的情况下才能对工艺参数进行调整。在未经工艺工程师授权时不得更改、调节、删除任何设备的工艺参数。 4.2.2 协助班组长对自己所操作机器的工艺参数进行监控，当发现工艺参数发生变化时应及时通知班组长，由班组长通知工艺工程师，或者主操作直接通知工艺工程师。 4.3 班组长 4.3.1 班组长应该严格要求本组员工按工艺要求进行生产，对其操作进行监督，杜绝违反工艺规定现象出现。 4.3.2 当工艺工程师不在现场，且扩散后硅片的方块电阻出现异常的时对扩散炉的源流量在一定范围内（每班每台扩散炉调节范围不得超过±30ml/min）进行微调。当对源流量进行微调无效时，班组长应该通知工艺工程师进行调整。 4.3.3 当硅片出现异常，班组长应立即通知工艺人员。班组长在未得到工艺工程师的授权时，不得对扩散炉的工艺参数以及清洗机的清洗工艺进行任何调整。 4.3.4 班组长应该配合工艺人员严格按照实验要求完成各项实验。 4.3.5 协助工艺人员对超净间的各种工艺进行监控，监督工艺质量，当发现工艺被修改时应及时通知工艺人员，由工艺人员进行确认处理。 4.3.6 实验单由班组长负责，监督本组员工如实、认真填写。 4.4 工艺工程师： 4.4.1 保持超净车间的工艺稳定，保证超净车间生产的连续，当工艺出现重大波动且影响到生产质量时，应该及时采取相应的解决措施。 4.4.1.1 工艺工程师应该指导生产人员进行生产，保证生产的顺利进行； 4.4.1.2 当工艺工程师对工艺进行优化时，应事先与主管工程师讨论确认方案的可行性，然后请求生产部协助，按计划进行实验； 4.4.1.3 工艺人员的实验在没有成熟时不得进行大批量生产。 4.4.2 在进行各种实验时，为生产人员设定好各种工艺参数； 4.4.3 巡视超净车间各工艺情况，当发现工艺参数发生变化时，调查其原因然后进行相应处理； 4.4.4 可以根据工艺需要对手工清洗处的溶液浓度进行相应的微调（调节浓度范围0.3）加大或减小清洗液的浓度； 4.4.5 可以根据工艺需要对手工清洗时间进行相应调整； 4.4.6 可以根据工艺需要对扩散炉的源流量进行相应调整； 4.4.7 保证超净间各个工艺在规定的工艺参数下进行，对设备的各工艺参数进行定期复查 ，完成SPC相关工作； 4.4.8 配合其他车间工艺人员完成各项实验和质量控制。 4.5 工艺流程图 5 工作流程图 无 6 正文书写 6.1 操作规程： 6.1.1 扩散机台开机 6.1.1.1 开机前确认冷却水，气体压力表是否正常——（冷却水阀与水管同向为开；气源柜气体压力表读数 0.2MPa；确认排风正常；检查源瓶液位，确认无气体泄漏。）。 6.1.1.2 开主电源，电源供应正常的标志是气源柜下面空气开关面板内的绿色指示灯亮起。 6.1.1.3 开启冷却风扇开关（气源柜下面空气开关上排第01，02，04个）。 6.1.1.4 开启三氯氧磷源温控制器电源插座空气开关（气源柜下面空气开关上排第06个）。 6.1.1.5 开启气体，温度控制面板空气开关（气源柜下面空气开关下排第01，02，04，05，07，08，10，11个）。 6.1.1.6 分别按下炉体下面控制面板“STOP”按钮取消开机自动报警。 6.1.1.7 分别按下炉体下面控制面板“START”按钮启动炉体升温。 6.1.2 工艺程序加载和运行 6.1.2.1 熟读 Program Sezcon Diffusion Tubes Supervisor。 6.1.2.2 电脑操作界面中，打开Sezcon软件，在project中打开相应的炉管目录。点击Open file打开所要进行的工艺程序（例如饱和石英管、扩散、TCA清洗等），Download到相应的炉管（在正常情况下，工艺程序已经Download不需要操作人员做）。 6.1.2.3 在送料台前面的（1—4）控制面板从上到下分别控制1—4号扩散炉管，按“F2”键显示程序列表，按方向键选中相应程序并按“ENTER”